SilvacoTCAD器件仿真1综述.pptVIP

下载本文档

164
0
约3.95千字
约 32页
2017-01-01 发布于湖北
举报
版权申诉

SilvacoTCAD器件仿真1综述.ppt

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

Lattice Heating and Energy Balance Models * Silvaco学习 * 推荐的物理模型选择 MOSFETs类型 srh，cvt，bgn BJT,thyristors等器件类型 Klasrh，klaaug，kla，bgn 击穿仿真 Impact,selb * Silvaco学习 * 器件仿真流程 * Silvaco学习 * ATLAS语法格式 * Silvaco学习 * Parameter Description Value Required Example Character Any character string Yes material=silicon Integer Any whole number Yes region=1 Logical A true or false condition No gaussian Real Any real number Yes x.min=0.1 ATLAS的语法格式： ATLAS的statement同ATHENA中的command 参数类型及其要求如下： STATEMENT PARAMETER=VALUE 肖特基二极管的例子 ATLAS示例库diodeex01 * Silvaco学习 * go atlas mesh space.mult=1.0 # x.mesh loc=0.00 spac=0.5 x.mesh loc=3.00 spac=0.2 x.mesh loc=5.00 spac=0.25 x.mesh loc=7.00 spac=0.25 x.mesh loc=9.00 spac=0.2 x.mesh loc=12.00 spac=0.5 # y.mesh loc=0.00 spac=0.1 y.mesh loc=1.00 spac=0.1 y.mesh loc=2.00 spac=0.2 y.mesh loc=5.00 spac=0.4 启动仿真器：生成网格：肖特基二极管的例子 * Silvaco学习 * region num=1 silicon electr name=anode x.min=5 length=2 electr name=cathode bot #.... N-epi doping doping n.type conc=5.e16 uniform #.... Guardring doping doping p.type conc=1e19 x.min=0 x.max=3 junc=1 rat=0.6 gauss doping p.type conc=1e19 x.min=9 x.max=12 junc=1 rat=0.6 gauss #.... N+ doping doping n.type conc=1e20 x.min=0 x.max=12 y.top=2 y.bottom=5 uniform save outf=diodeex01_0.str tonyplot diodeex01_0.str -set diodeex01_0.set 定义区域：定义电极：定义掺杂：保存和显示结构：肖特基二极管的例子 * Silvaco学习 * model conmob fldmob srh auger bgn contact name=anode workf=4.97 solve init method newton log outfile=diodeex01.log solve vanode=0.05 vstep=0.05 vfinal=1 name=anode tonyplot diodeex01.log -set diodeex01_log.set quit 使用的物理模型：定义接触特性：计算初始化：计算方法：结果存为日志文件：施加电压：显示正向IV特性：肖特基二极管的例子 * Silvaco学习 * 结构正向IV特性下一讲的安排器件仿真的结构生成使用ATLAS语法生成结构 DevEdit编辑得到结构 * Silvaco学习 * 谢谢！ * * Silvaco学习交流时间 * * Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco TCAD 器件仿真（一） Tang shaohua, SCU