电子显微技术2教案.ppt

6.2 扫描电子显微镜 p321 What is SEM? SEM — — 主要是利用样品表面产生的二次电子和部分背散射电子成像来对物质的表面结构进行研究，是探索微观世界的有力工具。 6.2.5. 扫描电镜应用实例p334 断口形貌分析 纳米材料形貌分析 横截面形貌 内部结构 粉末 动态和其他实验 扫描电子显微镜可以清楚地反映和记录原始材料及其制品的显微形貌、孔隙大小、晶界和团聚程度等 微观特征 ,是观察分析样品微观结构方便、易行的有效方法 ,样品无需制备 ,只需直接放入样品室内即可放大观察;同时扫描电子显微镜可以实现试样从低倍到高倍的定位分析 ,在样品室中的试样不仅可以沿三维空间移动 ,还能够根据观察需要进行空间转动 ,以利于使用者对感兴趣的部位进行连续、系统的观察分析。扫描电子显微镜拍出的图像真实、清晰 ,并富有立体感 观察厚试样 　　其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和最真实的形貌。扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间，但在对厚块试样的观察进行比较时，因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法，而复膜的分辨率通常只能达到10nm，且观察的不是试样本身。因此，用扫描电镜观察厚块试样更有利，更能得到真实的试样表面资料。 横截面形貌 内部结构 粉末 动态和其他实验 观察试样的各个区域的细节 　　试样在样品室中可动的范围非常大，其他