第七章材料方法TEM讲述.pptVIP

第七章 透射电子显微镜 Transmission electron microscope 第一节 透射电子显微镜的结构和成像原理 以波长极端短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。 由电子光学系统、电源与控制系统及真空系统三部分组成。 电子光学系统通常称镜筒，是TEM的核心，它的光路原理与透射光学显微镜十分相似。其分为三部分：照明系统、成像系统和观察记录系统。 一、照明系统 （1）电子枪 电子枪是TEM的电子源。 常用的是热阴极三极电子枪，由发夹形钨丝阴极、阳极和栅极组成。 一、照明系统 （1）电子枪 电子枪是TEM的电子源。 常用的是热阴极三极电子枪，由发夹形钨丝阴极、阳极和栅极组成。 一、照明系统 (2) 聚光镜 作用：用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。 一般采用双聚光镜系统。 第一聚光镜为强励磁透镜，束斑缩小率为10-50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为φ1-5μm； 第二聚光镜为弱励磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右，结果在样品平面上可获得φ2-10μm的照明电子束斑。 二、成像系统 (1) 物镜 作用：用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。 TEM的分辨率主要取决于物镜 通常采用强激磁，短焦距的物镜，放大倍数较高，一般为100～300倍，目前高质量物镜分辨率可