李建军-半导体器件模拟及数值分析第六章有限元法模拟要素.ppt

MOS器件的二维稳态分析 4.有限元方程建立 并代入下式 Jn MOS器件的二维稳态分析 GO 4.有限元方程建立 上述方程与下面的方程连立可解出 MOS器件的二维稳态分析 5.有限元方程的解法 MOS器件的二维稳态分析 5.有限元方程的解法 MOS器件的二维稳态分析 5.有限元方程的解法 MOS器件的二维稳态分析 形成初值?(0), ?n(0), ?p(0) 建立和求解A方程组? ?? 开始 结束 Yes No | | ??(k)| | ?1 | | ??(k)| | ?2 修正?n 建立和求解B方程组? ?n Yes 修正? No 内循环 外循环 建立和求解A方程组? ?? Yes MOS器件的二维稳态分析 源区节点上，?(0)=VS 漏区节点上，?(0)=VD 衬底节点上，?(0)=VB 对n沟MOS器件，?p(0)是常数， ?p＝exp(VB) ?n(0)是通过把?(0)代入B方程求解得到 6.初值 MOS器件的二维稳态分析 7.单元网格划分 MOS器件的二维稳态分析 下图中类型1是基本形式的单元，类型2用于从上至下网格变疏，类型3用于从下至上网格变疏，类型4用于从左至右网格变疏，类型5则用于从由右至左网格变疏。 类型1 类型2 类型3 类型4 类型5