第二章薄膜的制备-2015讲述.ppt

第二章 薄膜的制备 周大利 四川大学材料科学与工程学院 薄膜 对于薄膜目前尚无统一的定义，通常将几十?到几十μm厚的膜材料称为薄膜。随着大规模、大容量的薄膜制作技术和装置的逐渐采用，有可能制取更厚的膜层，一般也称为薄膜。依据薄膜存在的形式可以分为两大类：一类是以膜形式单独存在及应用的薄膜，另一类是依附于基体材料而存在的薄膜(即通常所说的表面涂层材料)。 从人类开始制作陶瓷器皿的彩釉算起, 薄膜的制备与应用已经有一千多年的发展历史。 从制备技术、分析方法、形成机理等方面系统地研究薄膜材料则起始于上世纪五十年代。 直到上世纪80年代, 薄膜科学才发展成为一门相对独立的学科。 促使薄膜科学迅速发展的重要原因是薄膜材料的强大的应用背景、低维凝聚态理论的不断发展和现代分析技术的出现及分析能力的不断提高。 薄膜材料发展最活跃的一些研究领域，如新材料的合成与制备，材料表面与界面的研究，低微材料的开发，非晶态、准晶态的形成，材料的各向异性研究，亚稳态材料的探索，晶体中杂质原子及微观缺陷的行为与影响，粒子束、光束与物质表面、交界面的相互作用，物质特异性能的开发等无不和薄膜科学与技术有关。 当今世界薄膜产业飞速崛起，一些发达国家在卷镀薄膜产品、塑料金属化制品、建筑玻璃镀膜制品、光学薄膜、集成电路薄膜、液晶显示膜、刀具硬化膜、光盘、磁盘等方面都