洁净室等级标准要素.pptVIP

* * 空 气 洁 净 技 术 华南理工大学研究生学院 杨波 第2章 空气洁净度标准与控制对象 2.1 洁净度等级标准 说明：工程中所依据的各项标准和规范，重要内容应记录在脑子里。 空气洁净度：洁净空气中含尘量多少的程度（即含尘浓度）。 含尘浓度高则洁净度低，含尘浓度低则洁净度高。 1、美国空军技术条令 世界上第一个洁净度标准。1961年3月问世。美国联邦标准的基石。 2、美国联邦标准209 1963年12月问世。 0.5μm 5.0μm 2.1 洁净度等级标准 3、现在标准 美国联邦标准FS209E 700 100000 NA NA NA 100000 70.3 10000 NA NA NA 10000 7.0 1000 NA NA NA 1000 NA 100 300 750 NA 100 NA 10.0 30.0 75.0 350 10 NA 1.00 3.00 7.50 35.0 1 5.0 0.5 0.3 0.2 0.1 粒 径 Particles Size (um) 洁净度级别Clean class 表2-1?美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年） 2.1 洁净