对几乎无摩擦且具有自组织双纳米结构的高度弹性无定型氢化碳系薄膜的研究.docVIP

对几乎无摩擦且具有自组织双纳米结构的高弹性无定型氢化碳系薄膜的研究 前言 从宏观角度而言,设计特殊的纳米结构为显著提高材料的性能提供了巨大的机会。有单一纳米结构的碳系薄膜，譬如富勒烯状类，多分子层,纳米复合材料等,因为它们优越的机械学、摩擦学及其他物理学性能，已经引起了巨大的研究兴趣。对在碳系薄膜中由多层纳米结构所展现的新功能的研究将会变得非常有趣；然而在我们的知识层面中，这却鲜有报道。这项工作发现了一种新型的自组织的双纳米结构的碳系薄膜，在真空条件下，该薄膜所表现出的极高的弹性和优良的摩擦性能得以展现。 通过磁控溅射自由Si（99.99wt%）和Al(99.99wt%)按面积比为6:1构成的复合靶，(Si, Al)/a-C:H薄膜将沉积在n型Si（100）上。这样的实验是甲烷（99.99%）和氩气（99.99%）的混合物以0.675的流率通过的环境中进行的。由于低能量的动态离子，基板上既没有负偏置电压也没有额外的加热，从而使离子的刻蚀和冲击变得非常弱。在早前就展现了这样的沉积设置以及样品制备的其他细节。 图1a显示的是一个断裂横截面的薄膜的FESEM图像。该薄膜的总厚度约为2.7um，其中包括一个2.4um厚的 (Si, Al)/a-C:H薄膜和一个0.3um厚的纯钛中间层。这种薄膜的沉降率高达每小时1.6um。值得注意的是，尽管该薄膜生长在自组织模式中，但它却十分的紧凑。图1b中的HRTEM显微图像显示了薄膜裂隙横截面的一个大体概述。它的特点是能够查找出如图1c所示的高度交联网络的纳米结构。此外，在插图中，红色箭头标记的是一些直径约10um的交联点。更为重要的是，形态学上近观揭示了一个平行弯曲的基面（图1d）,是文献报道的碳系薄膜中富勒烯结构的特性。图1d上面的插图清楚的显示了快速傅里叶变换（FFT）的衍射模式，在其中，四个扩散环（从内到外）相对应的间距依次为8.72, 6.28, 5.03 和4.51 ?;而这些都与富勒烯C 60 ( d 100 ??8.70 ?, d 110 ??5.01 ?) 和富勒烯 C 70( d 102 ??6.29 ?, d 112 ??4.51 ?)的距离很好的吻合。此外，从图1d中，我们可以观察到，类似富勒烯样的结构从一些平行曲线较低的边缘观察到，从而进一步的被证实。在全景的薄膜中，它可以预想到的是交联网络构建“框架”，即碳矩阵。这种碳矩阵主要包括富勒烯状的有序碳，一些无序的碳成分也期望被包含在碳矩阵中。因此，(Si, Al)/a-C:H薄膜可以描述为一种交联网络和富勒烯状结构的双层次结构的纳米结构体。 膜的组成被x射线光电子能谱分析仪（XPS，PHI—5702）所分析，此外，C，O，Si和Al的相对原子浓度一一被测出来，依次为90.5, 6.8, 1.9, 和0.9 at%. 通过高角度环形暗视野扫描透射电子显微镜（HAADF—STEM）联合能量散射X射线光谱（EDX），Si和Al的精确分布也被检测出来了。 图2a显示了网络一角的一张（HAADF—STEM）微观图片；一个联合的交联网络由于被白色虚线标记，因而能被清楚的看到。EDX线性扫描数据被标记在图2b中。有趣的是，我们观察到无论是Si还是Al都不能在跨网络部分被检测到，即：Si和Al几乎完全的位于交联网络之外。 人们可以从图3a中注意到样本表现出了非常小的滞后现象和少量残余的压痕深度，与此相对应的是一个95%的超高弹性恢复率，暗示了弹性或可逆的变形主要是存在于压痕过程。另一方面，正如所期望的那样，(Si, Al)/a-C:H薄膜是非常软的（1.7GPa）。图3b给出了薄膜的摩擦系数作为滑动周期的一个功能。薄膜的滑动系数在经过一个很短的磨合期（约290滑动周期）后，首先达到一个非常低的状态（0.015），然后摩擦系数稳定在1 ??10 ??3 .左右。图3b的插图显示了在经过15000~30000的滑动周期后，通过一个Micro-XAM 3D轮廓成像（ADE Phase Shift, USA），两个磨损轨道的横截面轮廓被检测到了。这两个磨损的轨道仅有约100nm的深度，暗示了极短时间内发生的磨损。此外，人们注意到，急事滑动周期从15000增加到30000，磨损轨道的深度也几乎没有增加。因此，这一点是合理的，即主要的磨损应该发生在形成传输层的初始阶段，并且薄膜仍然具有超强的耐磨性，即使是在初始赫兹接触压力（1.0GPa）接近其硬度（1.7GPa）的情况下。 此外，(Si, Al)/a-C:H薄膜的摩擦性能与纯碳薄膜（a-C:H）有着明显的差别，它是在相同的沉积条件下，通过溅射纯净的石墨靶而沉降。正如图3c所展现的那样，在相同的摩擦测试条件下，（a-C:H）展现出的平均