《沉铜、OSP问题实战解析与研讨____4.pptVIP

钱学森: 我所说的人才不是一般的人才,而是能够解决重大 问题, 进行重大创新甚至是颠覆性创新的人才. 培养新一代的科技人才须走科学与艺术结合之路: 科学创新的思想火花是从不同领域的大跨度联想 激活的. 科学工作是源于形象思维,而终于逻辑思维. 　　 化缸的成膜提供了基础与保障，在其它参数都符合要的情况下，预浸缸PH值的升高或降低，膜厚随之有明显的变化。 ③、其中对膜厚影响最大的是预浸缸的PH值，故在 实际生产控制中如其它参数在控制范围内，一般 是通过调整预浸缸PH值及行板速度来控制膜厚的 。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 氯离子对微蚀速率的影响因素之研究 1、背景： ①、微蚀药水： 殷田YT-33R系列； ②、测试设备： 烧杯实验（如使用OSP设备做实验效果 就更佳）； ③、测试方法： 　Ａ、使用１０ＣＭＸ１０ＣＭ的覆铜板； 　Ｂ、采用称重计算微蚀速率。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 2、曲线图： 0 0.3 0.5 1 2 4 8 16 （３７％ＨＣＬ，mm/L） um/min Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 3、小结： 氯离子对微蚀的速率影响非常明显，从曲线图 可以看出： ①、当ＨＣＬ的浓度从０－０.３mm/L递增时， 　　微蚀速率呈明显递减； ②、当ＨＣＬ的浓度从０.３－２mm/L递增时， 　　微蚀速率变化不大； ③、当ＨＣＬ的浓度从２－１６mm/L递增时， 　　微蚀速率呈明显递增，但始终比没有添加 　　ＨＣＬ要小。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 膜厚不均、膜面发紫不良 发紫不良图片 膜面发紫 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. １、铜面局部受到药水污染，或停放时间太长，而导 　　致铜面严重氧化，在做ＯＳＰ时，微蚀无法将氧 　　化层清除干净，影响上膜效果，出现局部膜薄或 　　不上膜，从产生发紫不良，预防改善措施如下： 　①、未做抗氧化的板须存放在专用的板架上，禁止 　　　放在地板上，以防止药水溅落在板面上造成污　 　　　染； 　②、合理安排生产计划，在抗氧化车间的板，在一 　　　周内必须安排做完ＯＳＰ； 成因及预防改善措施 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 　③、如发现铜面严重氧化的板，可以先过酸洗幼磨 　　　将氧化层清除干净后再做ＯＳＰ； ２、上膜后受到酸液等污染，膜面遭到破坏，譬如： 　　抗氧化缸后面的水洗缸未及时保养、酸度过高， 　　板子放在地面上受到药水的污染等，预防改善措 　　施如下： 　 ①、按照ＭＥＩ要求做足保养（更换棉芯、水洗　　 　　　槽，清洁行辘、缸壁等）； 　②、做完ＯＳＰ的板须即刻放进检板房，同时避免 　　　将板子放在地面上等低处。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. ３、因微蚀浓度过低、喷嘴堵塞、或微蚀液受污染、 　　老化等而导致的膜面发紫，预防改善措施如下： 　①