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扫描电子显微镜实验指导书 长春工业大学 （金属材料专业用） 2007年5月 目录 扫描电子显微镜简介 实验一 、扫描电镜结构和基本原理 实验二 、扫描电镜样品制备 实验三 、扫描电镜基本操作方法 实验四、 扫描电镜典型组织的观察 扫描电子显微镜简介 扫描电子显微镜是一种精密电子光学仪器，广泛应用于材料、生物、纺织、医学、地质等科学研究领域。其特点是分辨本领高，能观察到几十埃的细节形貌；放大倍数高,可以从十几倍至几十万倍连续可调；图像大，景深长，直接观察样品的细微结构，图像具有三维立体感。可取得从低倍到高倍所观察的高质量的宏观及微观表面电子图象。 该实验教学主要目的: 1.通过对扫描电子显微镜实物的观察，了解扫描电子显微镜的基本结构和基本原理；明确扫描电镜的用途； 2.学会样品的制备方法； 3 .学习掌握扫描电子显微镜基本操作方法；应用扫描电子显微镜对微观形貌组织进行观察和科学的分析。 实验一．扫描电子显微镜结构和基本原理 （学时 1） 实验目的：  通过对扫描电子显微镜实物的观察，应用学习掌握的物理学、电学 、 电子光学等方面的知识，了解和解释扫描电子显微镜的结构和基本原理。 实验原理： 扫描电镜是利用聚焦的电子束，在样品表面点扫描，用探测器收集在电子束