SOI高温压力传感器的研究研究.docVIP

天津大学 博士学位论文 SOI高温压力传感器的研究 姓名：张为 申请学位级别：博士 专业：微电子学与固体电子学 指导教师：姚素英  中文摘要 本论文是国家自然科学基金项目“高稳定性高温压力传感器的研究”和天津 市自然科学基金项目“高灵敏度高温压力传感器的研究”研究工作的一部分。目 ??沽Υǜ衅魇嵌嘌Э谱钚卵芯砍晒?牟?铮?饕0?⊿?技术、微机械 加工技术、有限元分析等。 全面了解高温压力传感器的最新发展动态，从技术角度详尽分析了不同产品 ? 的优缺点；并对??沽Υǜ衅鞯奈锢砘?　!猄?技术进行了深入地探讨。 ??瓿闪艘恢志匦文そ峁筍?压力传感器的设计，包括版图设计与工艺设计， ?? 奠定了坚实的技术基础。 ??許?压力传感器的性能进行了全面地测试与分析。结果为改进现有设计和 力传感器的前提条件。由于传感器结构复杂，我们利用有限元工具 分布的影响，以及温度场对应力分布的影响。并根据所得结论，优化设计出 具有良好的静态特性与温度特性。 化设计均具有独创性。 当然，我们现有成果仍处于研究工作的起步阶段，只有通过不断的努力才能 研制出高性能??沽Υǜ衅鳌５?牵?幸坏闶强梢钥隙ǖ模琒?压力传感器必 将以其独特的结构、优异的性能成为??的主流产品之一。  ?? ??????? ? ???? ????盿? ?? ? ? ?? ??? ? ???? ???