2014(压阻-第3讲)讲义.pptVIP

2007 2007 2007 2007 2007 自检测压力传感器的几种类型 静电驱动压力自检测传感器 压敏电阻 硅杯 玻璃 下极板 上极板 P 2007 自检测压力传感器的两种类型 原理：压力敏感膜片充当下电极板，压力腔上部淀积金属形成上极板，在电压作用下两极板间产生静电力，使压力敏感膜片变形，引起压阻上应力变化，从而使电桥输出电压变化，以此来检测压力传感器的工作是否正常 2007 自检测压力传感器的两种类型 热气驱动自检测压力传感器 ： 硅 加热电阻 玻璃 2007 原理：在绝压腔内封入一定量的气体，当密封腔内的气体被加热，气体发生膨胀，压力敏感膜就会因腔内压力变化而产生形变，引起压阻上应力变化，从而使电桥输出电压变化 2007 单晶硅压力传感器利用压阻效应的应用可归纳为两类：①只利用纵向压阻效应；②同时利用纵向压阻效应和横向压阻效应。应变电阻应放置在膜片受力后应变大的部位，通过有限元分析可知单晶硅压力敏感膜片的最大应力区分别在膜片的中心（拉伸应变）和边缘（压缩应变）。在传感器的设计过程中，应根据实际的工艺条件选择合适的电阻布置方式。 多晶硅压阻的纵向压阻效应远大于横向压阻效应，只能利用纵向压阻系数，所以电阻条布置有所不同。 2007 压力传感器应变电阻的排布方式 压力传感器的应变电阻在压力敏感膜片上的可能排布方式