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真空技术理论培训 基本概念 泵的分类 1、旋片泵的结构、原理及问题分析 2、罗茨泵的结构、原理及问题分析 3、滑阀泵的结构、原理及问题分析 4、扩散泵的结构、原理及问题分析 5、分子泵的结构、原理及问题分析 6、其他常见泵及阀门 真空测量 1、真空计的分类 1）相对真空计：由一些与气体压力有关函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进行刻度，必须进行校准才能刻度。 2）绝对真空计：直接读取气体的压力，其压力响应（刻度）可以通过自身几何尺寸计算出来，或由测力计确定。 2、 公司常用的真空测量仪器 热传导真空计热丝通过电流加热，使其温度高于周围气体的温度，和管壳的温度，于是，在热丝和管壳之间产生热传导，达到热平衡时，热丝的问题决定于气体的热传导，也就决定于气体的压力。 1）公司现用的低真空真空计有：电阻真空计， 热偶真空计。 （1） 电阻真空计：利用热丝电阻随温度的变化的性质转化测量压力。 10 2Pa -10 –1Pa （具体见结构图） （2） 热偶真空计：利用热电偶直接测量热丝温度的变化。 10 5Pa -10 –1Pa （具体见结构图） 2）电离真空计：气体分子被电离后，形成离子流，稳定后，离子流的大小指示真空度。（具体结构见图） 检漏的基本知识 1）? 直线A，压力不变，但无法提高真空度，说明主要是泵的工作能力有问题 2）? 曲线B，压力刚开始上升较快，上升一段时间后趋平行，主要问题是放气，真空室内部的放气 3）? 斜线C，真空压力一直上升，主要是漏气。 4）? 曲线D，放气和漏气同时存在。 3、? 真空检漏的一般方法和注意事项 1）? 检漏的原理：（另外画图讲解） 2）? 漏率的单位：Pam3 /s Torr m3 /s Mbam3 /s 单位的转换 3）? 漏率：露点低于-25℃的空气，入口压力为标准大气压，出口压力为103 Pa，温度为23±3℃时，空气通过漏空的流量。 漏率Q＝压力Pa×流速m3/s 4）? 检漏的几种方法： （1）大漏的检测： (2) 小漏的检测： 镀膜知识 1、基本知识 2、磁控溅射原理 3、屏蔽罩的要求 4、气压、靶—基距的要求 1、基本知识 镀膜的分类： 1、物理沉积： 2、化学沉积： 3、膜生成的影响因素： 4、低压放电的曲线： 2、磁控溅射的原理 1、直流磁控溅射镀膜 在直流溅射装置中增加了磁场，利用磁场的洛仑兹力束缚阴极靶表面电子的运动，导致轰击靶材的高能粒子的增多和轰击基片的高能粒子的减少，使磁控溅射具有“低温”“高速”的特点 2、磁控溅射的基本原理就是以磁场改变电子运动方向，以电磁场束缚和延长电子的运动。 3、靶的基本结构 包括水冷系统、阴极体、屏蔽罩、极靴、磁铁、绝缘垫等 4、结构图分析（靶的机械图） 4、气压、靶—基距的要求 1、磁控溅射放电均为低电压等离子放电。主要特点：随着放电电流的增加，放电电压菌需要增加；随着气压的升高，放电电压下降。 2、沉积速率：表征成膜的速度参数，以单位时间沉积的平均膜厚来计算。曲线图 3、靶—基距（曲线图） 确定靶—基片距离必须考虑沉积速率和膜厚均匀性的因素。 公司镀膜机部分结构分析 1、泵组的配置分析 泵和阀门的搭配 泵的配置 2、靶结构分析 ITO靶的机械结构和尺寸要求 SIO2靶的机械结构和尺寸要求 3、影响真空度的几个因素： 内部放气点：。。。 传动、阀门 泵的抽速不够 谢谢！！ * ?????????????????? ?????????????????? 主讲；钟荣元 2005.5 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、真空及真空度的概念　　在真空技术中，把低于一个大气压的气体状态，统称为真空。与正常的大气相比，这是一种较稀薄的气体状态。　　真空中残存气体的稀薄程度就是真空程度的高低，即真空度。二、真空度的单位　　依据真空度的定义，衡量真空度高低最直接的物理量应是每单位体积中的分子数，但由于历史和技术上的原因，真空度的高低是用被抽空容器中残存气体的绝对压强来表示的。“压强”，是指单位面积容器壁上所承受的压力，它是目前国际上通用的