先进制造LIGA体微加工技术.docVIP

研究生课程考核试卷 科 目： 先进制造技术 教 师: 姓 名： 学 号： 专 业： 类 别： 上课时间： 2012年12月 至2013年1月 考 生 成 绩： 卷面成绩 平时成绩 课程综合成绩 阅卷评语： 阅卷教师 (签名) LIGA体微加工技术 1.1 LIGA体微加工技术简介 LIGA是德文Lithographie、Galvanoformung和Abformung三个词的缩写，LIGA体微加工技术是LIGA掩膜版制造工艺、X射线深层光刻工艺、微电铸工艺和微复制工艺的完美结合。在20世纪80年代由德国卡尔斯鲁尔核研究中心开发而成。LIGA 技术自问世后，发展非常迅速，德国、美国和日本都开展了该技术领域的研究工作。LIGA 技术是一种利用同步辐射X射线制造三维器件的先进制造技术，使用LIGA 技术可以进行微器