ECR等离子体08【参考】.docVIP

电子回旋共振等离子体 (Electron CyclotronResonance,ECR) ECR等离子体源发展历史： （1）微波电源的发展 1921： 磁控管 1939：速调管 （2）二战中微波技术的迅速发展 雷达 （3）微波灶的普及 1960-1970 微波电源价格大幅度下降 （4）1970年代前期：高温核聚变等离子体微波加热 后期：日本，捷克 低温等离子体应用 集成电路芯片刻蚀加工： 低气压高密度等离子体源竞争 ECR,ICP.Helicon. Hitachi, Astex. ECR等离子体源结构: 微波电子回旋共振加热原理 （a）微波ECR等离子体内的有效电场 B0 0 [对比] B0=0 特性 电子回旋频率附近，击穿电场显著降低。 实验结果： 回旋运动角频率ωce = eB0/me =ωwave (b)ECRplasma 中微波传输及吸收的主要特性 ---微波ECR 等离子体为各向异性介质,沿磁场方向传播的TE 波将分为右旋偏振波和左旋偏振波,色散关系为： n2R =1-(ω2pe/ (ω - ωce)ω) n2L =1-(ω2pe/ (ω + ωce)ω) 右旋波的共振和截止条件为: ωce/ω =1 (共振条件: nR =∞) ω2pe/ω2 =1-ωce/ ω　(截止条件: nR =0) 　　 ----微波不同馈入模式的结果 低场馈入：图中路径a----- 右旋波在低密度区截止（对应 的临界密度ncrit = nc (1 - ωce/ω) -----低密度 高场输入：图中路径b,没有高密度截止------高密度运行条件 -------共振区中右旋波的共振吸收功率 Pabs (r,z) = Pinput(r,z) [1-exp(-πη)] η = ω2pe/ ωcα , c 为光速, α =1/B0(r,z )dB (r ,z )/dz . ------〉共振吸收功率,不仅与微波场分布,而且还与磁场位形有关。 [问题]ECR plasma 磁梯度推动 微波ECR等离子体源系统 直流电源： 磁控管：产生微波的真空器件（磁控管溅射），商用微波炉即采用磁控管。 环行器／匹配负载： 在磁控管和变化的等离子体负载间起隔离作用，其功能像—个单向阀门，只允许微波功率从磁控管输至等离子体．反射微波功率传输到匹配负载被吸收。 (3)定向耦合器 测量从微波源到负载的人射功率和从负载返回源的反射波功率。两部分之差功率流之差主要被等离子体吸收，剩余部分是系统的损耗． (4)销钉调配器 阻抗匹配，可将反射波功率调至最小、等离子体负载吸收的人射波功率最大。 (5)模式转换器 将波模所希望的模式。矩形---〉圆波导， (6)石英窗 真空密封 低微波吸收。 (7)等离子体反应腔 共振、非共振型。 ECR放电参数特性 ⊙ECR等离子体密度随气压的变化 ⊙不同微波模式的等离子体密度及径向分布 ⊙共振区磁场梯度对离子体密度及径向分布的影响 电磁线圈电流对共振区磁场位形的影响 副线圈（sub-coil）对共振区磁场位形的影响 ⊙ECR放电的跳变、多稳、迟滞现象 ⊙不同类型的ECR等离子体源 法国DECR(Distributed electron cyclotron reasonance) 德国环形腔ECR等离子体 德国环形腔ECR等离子体放电照片  ECR增强溅射沉积等离子体源 ECR沉积等离子体源防窗口污染设计 设计原则：窗口在沉积粒子视线死角 增加窗口/沉积室之间距离 ECR等离子体特点 (1) 微波在波导中以横电波或横磁波方式传播,可以实现无内电极放电; (2) 能量转换效率高,95 %以上的微波能量可以转化为等离子体量; (3) 磁场约束减小了等离子体与真空室壁的相互作用; (4) 近麦克斯韦型电子能量分布的高能尾部的存在提高了电离