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设备可靠性、有效性和可维护性管理测试规范制度 　　1. 目的 　　1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性（可靠性、有效性、可维护性）的标准，为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。 　　2. 范围 　　2.1 这份文献定义了设备的6种基本状态。它包括了设备的任何时间所有可能的状态。设备的状态由其功能状况决定，而不管操作者是谁。在这里所做的对设备可靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断，而不是对设备的所有时间。 　　2.2 本文献第三节（设备状态）定义了如何对设备时间分类。第六节（三性测试）定义了测试设备状态的公式。第七节（不确定测试）另外给出方法用来评估所得数据的统计意义。 　　2.3 有效的应用这份规范需要设备的工作遵循它的周期及或时间。自动监测设备状态是标准SEMIE58中的内容，并不在本规范中。设备使用者与供应商之间清晰有效的沟通将持续提高设备的工作状况。 　　2.4 在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。三性指数可以适用于子系统水平（例如过程模块）的多路径组工具。 　　2.5 这份标准虽然有提到安全事宜，但目的并不旨在追求这个方面。它将是这个标准使用者的责任来建立合适的安全和健康条款，以及在使用前决定限制章程的运用。 　　3. 参考标准? 　　SEMIE58-自动化的可靠性、有效性和可维护