吸气材料的研究及应用-1.pptVIP

吸气材料的研究及应用 一、吸气材料的定义 二、吸气材料的一些基本概念 三、吸气材料的应用 一、吸气材料(吸气剂、消气剂)的定义 ★在电真空器件和真空科技领域吸收残余气体和器件工作时放出的气体，起到提高和维持器件真空度作用的材料。 负压下工作 ★惰性气体提纯： 可在正压下工作 吸气材料 气源 漏气 渗透 解溶解吸 抽气系统返流 蒸发升华分解 吸气材料 二、吸气材料的一些基本概念 吸附-扩散模型 吸附势能曲线(H2在Ni上) H2(g) H2(表面) 2H(表面） Ed: 解吸活化能 Ea: 化学吸附活化能 ΔaH: 物理吸附热 ΔrH: 化学吸附(反应)热 DHH: H2的离解能 ΔrHm Ed Ea ΔaH r Ep H2(g) H DHH 化学吸附常需高温 间隙原子扩散势场示意图 气体分类 惰性气体 碳氢 化合物 活性气体 1 2 3 4 He Ne Ar : CH4 CmCHm CnCHm : CO CO2 N2 O2 H2O : H2 D2 T2 : 吸气材料 PCT curves of LaNi5 alloy 图 面心立方点阵中的间隙 图 体心立方点阵中的间隙 图 密排六方立方点阵中的间隙 吸气材料气体吸着动力学说明 吸气材料 吸气材料激活 蒸散型 非蒸散型 表面钝化膜，常温常压下稳定存在 时间