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【课件】传感器与检测技术光电式传感器分析
* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 当指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹成一小角度 放置时,两光栅尺上线纹互相交叉。在光源的照射下, 交叉点附近的小区域内黑线重叠,形成黑色条纹,其 它部分为明亮条纹,这种明暗相间的条纹称为莫尔条 纹。莫尔条纹与光栅线纹几乎成垂直方向排列。 严格地说,莫尔条纹是与两片光栅线纹夹角的平分线 相垂直。 直线光栅的莫尔条纹 由于光栅的刻线非常细微,很难分辨到底移动了多少 个栅距,而利用莫尔条纹的实际价值就在于: 能让光敏元件“看清”随光栅刻线移动所带来的光强 变化。 4.1.3 莫尔条纹特点 1. 位移的放大作用 根据右图,莫尔条纹间距B与栅距W和 夹角θ之间有如下关系: θ越小,莫尔条纹间距B越大 θ越小,B越大,θ当小于1°以后,可使BW, 即莫尔现象具有使栅距放大的作用。 因此,读出莫尔条纹的数目比读光栅刻线的数目要 方便得多。通过光栅栅距的位移和莫尔条纹位移的 对应关系,就可以容易地测量莫尔条纹移动数,获 取小于光栅栅距的微小位移量。 2. 莫尔条纹的移动与栅距的移动成比例 当光栅尺移动一个栅距W时,莫尔条纹也刚好移动了一 个条纹宽度B。只要通过光电元件测出莫尔条纹的数目, 就可知道光栅移动了多少个栅距,移动的距离就可以计 算出来。若光栅移动方向相反,则莫尔条纹移动方向也 相反 3.均化误差作用 莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同组成,例如, 200条/mm的光栅,10mm宽的光栅就由2000条线纹组成, 这样栅距之间的固有相邻误差就被平均化了,消除了栅 距之间不均匀造成的误差。 4.1.3 莫尔条纹测量位移原理 当光电元件Ta或Tb接收到明暗相间的正弦信号时,根据 光电转换原理将光信号转换为电信号。当光栅移动一个 栅距W时,电信号则变化了一个周期 这样光敏元件输出波形为: 无论莫尔条纹上移或下移,从一固定位置看其明暗变化 是相同的。为了确定运动方向,至少要放置两个光电元 件,两者相距1/4莫尔条纹宽度。当光栅移动时,莫尔 条纹通过两个光电元件的时间不同,所以两个光电元件 所获得的电信号虽然波形相同,但相位相差90度。根据 两光电元件输出信号的超前和滞后,可以确定标尺光栅 移动方向。 4.1.4 位移辨向原理 辩向逻辑电路 4.2 莫尔条纹细分技术 如果仅以光栅的栅距作其分辨单位,只能读到整数莫 尔条纹;倘若要读出位移为0.1μm,势必要求每毫米 到线1万条,这是目前工艺水平无法实现的。 如果采用栅距细分技术可以获得更高的测量精度。常 用的细分方法有: 1.增加光栅刻线密度 2. 对电信号进行电子插值 ,把一个周期变化的莫尔条 纹信号再细分,即增加一个周期的脉冲数 3.机械和光学细分 光电元件直接细分 在一个莫尔条纹宽度上并列放置四个光电元件,如右 下图(a)所示,得到相位分别相差π/2的四个正弦周期信 号。用适当电路处理这些信号,使其合并得到如右下 图 (b)所示的脉冲信号。每个脉冲分别和四个周期信号 的零点相对应,则电脉冲的周期反应了1/4个莫尔条纹 宽度。 用计数器对这一列脉冲信号计数,就可以读到1/4个莫 尔条纹宽度的位移量,这将是光栅固有分辨率的四倍。 此种方法被称为四倍频细分法。 莫尔条纹光学细分法 这种方法采用密光栅作为指示光栅,稀光栅作为标尺光栅,稀光栅的栅距是密光栅的整数倍β。 β可由下式表示为: 4.1.3 莫尔条纹测量位移原理 当光电元件Ta或Tb接收到明暗相间的正弦信号时,根据 光电转换原理将光信号转换为电信号。当光栅移动一个 栅距W时,电信号则变化了一个周期 这样光敏元件输出波形为: 辩向逻辑电路 由图可知,当莫尔条纹上移是Ua Ub的电平变化序列 为00 01 11 10 00 ; 当莫尔条纹下移时, Ua Ub的电平变化序列为: 为00 10 11 01 00; 莫尔条纹上移 上次uaub 本次uaub 10 00 00 01 01 11 11 10 10 00 莫尔条纹下移 上次uaub 本次uaub 01 00 00 10 10 11 11 01 01 00 * * * * * * * * * * * * 一、光纤传感器的基本知识 光纤是一种传输光的细丝,它能够将进入光纤一端的光线传到光
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