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现代精密仪器设计 大作业 姓名：乔玉岩 学号：1110022039 班级：测控技术与仪器112班 学院：机械工程学院  微位移技术综述 乔玉岩 [摘要] 　微位移机构在精密机械和精密仪器中应用广泛，种类很多。本文对这些机构的结构、原理、特点和应用进行了分析与比较,并阐述了该类机构的发展趋势。 [关键词] 微位移机构；扭轮摩擦传动；机械传动；热变形；弹性变形；压电陶瓷；柔性铰链 Study on Micro-motion Mechanism Qiao yu-yan [ Abstract] With many varieties , micro-motion mechanisms have wide applications in precision machines and instruments. This paper makes the comparison of structure , principle , characteristics and application among these mechanisms. Finally , it presents the development trends of the micro2motion mechanism. [ Keywords] micro-motion mechanism ; torsion wheel friction transmission ; mechanism transmission ; thermal de2 formation ; elastic deformation ; piezoelectric ceramic ; flexible hinge 微位移机构是指行程小(一般小于毫米级)精度高(亚微米、纳米级)和灵敏度高的机构，它是精密机械和精密仪器的关键部件之一，它既可作为微进给和微调部件，也可作为工艺系统误差静态和动态补偿的关键部件。近年来随着电子技术、宇航、生物工程等学科的发展而得到迅速发展和广泛应用。尤其随着微电子技术向大规模集成电路和超大规模集成电路方向发展和微机械的研究，微位移机构得到迅猛发展，并得到广泛应用。美国 LODTM 机床上用的快速刀具伺服机构在±1. 27μm 范围内分辨率可达2.5nm,频响可达100H；日本日立制作所采用柔性支承导轨、压电驱动方式的微位移机构的位移精度为±0.05μm,行程为±8μm ,该机构均成功应用于电子束曝光机 。哈尔滨工业大学采用柔性支承导轨 步进电机驱动方式的微位移机构的位移精度为±0.05μm ,分辨力为0.01μm，行程为20μm；国防科技大学采用柔性支承导轨形式、电致伸缩驱动方式的微位移机构的分辨力为0.1μm，行程为20μm。当前常见的微位移机构有: 机械传动式、扭轮摩擦传动式、热变形式、磁致伸缩式、弹性变形传动式、压电陶瓷式、直线电机式和柔性铰链式微位移机构等。[1] 本文将介绍这些微位移机构的结构、原理、特点及其应用，并予以相互比较。 1 扭轮摩擦传动式微位移机构 扭轮摩擦传动式微位移机构是利用扭轮摩擦传动机构实现微位移的机构。一般的纽擦传动方式是将驱动摩擦轮展开为直线运动，运动分辨率有限。当将摩擦副的主动轮与从动杆母线交角从直角减小为一很小的角度时，形成的摩擦副即为扭轮摩擦副，利用扭轮摩擦副做成的传动机构称扭轮摩擦传动机构，它可以得到很小的导程和纳米级的运动分辨率和定位精度，具有运动平稳、无间隙和无爬行等优点。我们研制的扭轮摩擦传动机构示意图如图1所示，其导程小于0.2mm , 若选用高运动分辨率的电机，则可达在 250mm 范围内得到纳米级的运动分辨和定位精度。它可应用于许多超精密传动领域。 2 机械传动式微位移机构 机械传动式微位移机构是一种最古老的机构，在精密机械和仪器中应用很广，其结构形式较多，主要有螺旋机构、杠杆机构、契块凸轮机构以及它们的组合机构。但因机构中存在机械间隙、摩擦磨损以及爬行现象等，所以运动灵敏度和精度都很难达到高精度，所以该机构只适宜于中等精度。 2.1 螺旋式微位移机构 螺旋式微位移机构的结构简图如图2所示，其结构简单，制造维修方便。它是利用螺旋传动原理来获得微小直线位移 , 转动手轮1转动经螺杆2将螺旋运动转换为直线运动。运动件的直线位移s与手轮转角φ关系为: 因此，若螺杆螺距t已定，在螺杆与螺母配研和传动平稳时，控制φ的大小即可得到微位移，其精度可达 10μm。它广泛应用于微调和测量机构，如