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清洗实习报告 实习目的： 1、清洗机基本结构 2、清洗剂及其功能 3、清洗环境与清洗工艺 4、酸碱洗原理 5、硅片的烘干 实习时间：2011.8.16-2011.8.25 实习地点：江西赛维LDK硅片事业部新余公司 实习部门：清洗5#厂房 实习内容： 1.清洗机基本机构 捷佳创SC清洗机 捷佳创SC清洗机主要由设备主体骨架、传动系统、抽风系统、管路系统、电气控制系统、烘干系统、工艺清洗系统等组成。 设备主体骨架：整体由PP焊接全封闭而成。 传动系统：传动系统是全自动清洗机区别手动清洗设备最核心的部分，采用双臂机械手（水平方向移动采用伺服电机和防腐齿轮齿条结构传动，垂直方向采用伺服电机和丝杆倒杆结构提升）。另外还有前后水平输送料装置。 抽风系统：采用设备顶部整体抽风方式，抽风系统把有害气体导入专用管道来防止其扩散对人体、产品、设备及环境的影响。 管路系统：由PVC管组成，用于槽液注入、排出管道以及空压气管。 电气控制系统：监控以及参数修改。 烘干系统：隧道式烘干。 工艺清洗系统：槽内有超声波、加热、鼓泡、抛动等装置。 不管预清洗还是清洗都涉及超声波清洗，所以超声波在此工艺过程中起到重要作用。 超声波清洗机的构成：主要由超声波清洗槽和超声波发生器两部分构成。超声波清洗槽用坚固弹性好、耐腐蚀的优质不锈钢制成，底部安装有超声波换能器振子；超声波发生器产生高频高压，通过电缆联结线传导给换能器，换能器与振动板一起产生高频共振，从而使清洗槽中的溶剂受超声波作用对污垢进行洗净。 超声波清洗机原理：主要是将换能器，将功率超声频源的声能，并且要转换成机械振动，通过清洗槽壁使之将槽子中的清洗液辐射到超声波。由于受到辐射的超声波，使之槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动。当声压或者声强受到压力到达一定程度时候，气泡就会迅速膨胀，然后又突然闭合。在这段过程中，气泡闭合的瞬间产生冲击波，使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局调温，这种超声波空化所产生的巨大压力能破坏不溶性污物而使他们分化于溶液中，蒸汽型空化对污垢的直接反复冲击。一方面破坏污物与清洗件表面的吸附，另一方面能引起污物层的疲劳破坏而被驳离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，污层一旦有缝可钻，气泡立即“钻入”振动使污层脱落，由于空化作用，两种液体在界面迅速分散而乳化，当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时，油被乳化、固体粒子自行脱落，超声在清洗液中传播时会产生正负交变的声压，形成射流，冲击清洗件，同时由于非线性效应会产生声流和微声流，而超声空化在固体和液体界面会产生高速的微射流，所有这些作用，能够破坏污物，除去或削弱边界污层，增加搅拌、扩散作用，加速可溶性污物的溶解，强化化学清洗剂的清洗作用。由此可见，凡是液体能浸到且声场存在的地方都有清洗作用，其特点适用于表面形状非常复杂的零件的清洗。尤其是采用这一技术后，可减少化学溶剂的用量，从而大大降低环境污染。 超声波的特点：频率越高，传播的距离越远，力道较弱，盲点较少；超声波频率越低，传播的距离越近，力道较强，盲点较多。 总结： 此预清洗机槽体使用的是不锈钢材质，耐酸程度不高，导致设备使用时间长了，很多地方生锈，（这样又将带入新杂质污染硅片）如果采用SUS316钢板制作，造价就会提高很多，感觉可改用PP板之类的材质制作工位槽，既可以节约成本也可以防止使用时间长了生锈产生杂质污染硅片的弊病。 此工艺都是用纯水作业，对水质要求高。应该在进水处加装过滤装置以及装置电导计监控电导率，保证和时时监控水质。 2）每个工序槽可加装内循环泵浦，提高溶液均匀度有利于清洁效果，并可缩短作业时间从而提高产能。 3）此共设纯水的需求量不足，各槽溢流量已无可调空间。 2 清洗剂及其功能 常用的化学清洗剂 硅片化学清洗的主要目的是针对上述可能存在的硅片表面杂质进行去除。常用的化学清洗剂有高纯水、有机溶剂（如甲苯、二甲苯、丙酮、三氯乙烯、四氯化碳等）、浓酸、强碱以及高纯中性洗涤剂等。 几种常用化学清洗剂的去污作用 （1）硫酸 热的浓硫酸对有机物有强烈的脱水炭化作用，采用浓硫酸能有效去除硅片表面有机物； （2）王水 王水具有极强的氧化性、腐蚀性和强酸性，在清洗中主要利用王水的强氧化性； 王水能溶解金等不活泼金属是由于王水溶液中生成了氧化能力很强的初生态氯[Cl]和氯化亚硝酰； HNO3+HCl=NOCl+2[Cl]+2H2O 3 清洗工艺 捷佳创SC清洗机清洗 硅片的化学清洗： 硅片经过不同工序加工后，其表面已受到严重污染，一般讲硅片表面污染大致可分为三类： A