实验报告 范本实验告 范本.doc

研究生实验报告 实验课程： 实验名称： 实验地点： 学生姓名： 学 号： 指导教师： 实验时间： 年 月 日 一、实验目的 二、实验内容 三、实验原理 气体传感器的检测原理一般是利用吸附气体与高分子半导体之间产生电子授受的关系，通过检测相互作用导致的物性变化从而得知检测气体分子存在的信息，大体上可以分为： (l)气体分子的吸附引起聚合物材料表面电导率变化 (2)p型或n型有机半导体间结特性变化 (3)气体分子反应热引起导电率变化 (4)聚合物表面气体分子吸、脱附引起光学特性变化 (5)伴随气体吸附脱附引起微小量变化 对于电阻型气体传感器，其基本的机理都是气体分子吸附于膜表面并扩散进体内，从而引起膜电导的增加，电导变化量反应了气体的浓度情况。 四、实验器材 S-450型扫描电镜:日本日立公司 UV1700紫外一可见分光光度计:北京瑞利分析仪器公司 BSF-GX-2型分流式标准湿度发生器:国家标准物质研究中心、北京耐思达新技术发展公司 五、实验步骤 σ为薄膜的本征电导率。结合基底尺寸、材料电导率和工艺能力可以设计出结构优化的叉指 结构，获得较显著的电学输出信号。 图1、基于敏感膜的气体传感器结构设计意图 图1为设计的电阻型气体传感器结构，在绝缘衬底上制作叉指电极，然后在叉指电极上制作敏感薄膜，通过测试两个叉指电极间的电学信号，可获得敏感薄膜的电阻信息。设计完成的整个气体传感器的制作流程示意图如图2所示。 图2、气体传感器制作工艺流程示意图 详细流程可表述为：硅片清洗—硅片表面氧化—溅射生长NiCr合金—溅射生长金—匀胶、显影、曝光、去胶—刻蚀金属层(Kl、硫酸)—中测—划片一测试在器件的制作中，所使用的基片是电阻率为0.7-1?cm的n型单晶硅片([100]取向)。其上氧化生长二氧化硅作为绝缘层，然后溅射镍铬合金(200-300 ?)，以提高金电极的附着性。其后再在镍铬合金上溅射导电的金层(400～500?)，采用负胶光刻，电极间距和宽度相等，为50μm，整个器件尺寸大小为8*5mm2，该设计由自己完成，工艺由成都亚光电子股份有限公司加工。 3、聚苯胺复合薄膜制备 (1) 基片预处理 本实验采用表面抛光的石英玻片和平面叉指金电极作为成膜基片。将表面抛光的石英基片先后放在:(l)表面活性剂和水的混合液;(2)去离子水;(3)乙醇;(4)丙酮中分别超声清洗0.5h,以除去表面污垢和油溃。然后将清洗过的石英基片放入7:3浓硫酸/过氧化氢溶液及1:1:5氨水/过氧化氢/水溶液中各超声清洗0.5h使得表面清洁,同时通过这一步使基片表面亲水。处理后的石英基片存放在超纯水中待用。 将清洗好的石英基片及平面叉指电极式器件浸入1%PDDA水溶液15min,取出后用去离子水洗涤,再用氮气吹干,此时基片表面呈正电性;再将基片浸入Pss溶液(2mg/inl,盐酸调节PH=1~2)中15min,取出后用去离子水洗涤并吹干,此时基片表面呈负电性。 （2）聚苯胺PANI/TiO2复合薄膜制备方法 对于经过聚电解质(PSS)处理后的基片，聚电解质自组装膜在基片表面引入了极性基团，在聚合反应的开始阶段，基片上-SO-3基团与酸性条件下苯胺单体和聚苯胺低聚合物上的N+通过静电吸引作用形成离子对，将其吸附在基片表面，形成均匀的聚合中心，进行链生长。同时，混合液中的TiO2纳米粒子起着原位吸附聚合载体的作用，苯胺单体吸附在TiO2纳米粒子表面，氧化剂(NH4)2S2O8引发单体在TiO2纳米粒子表面进行聚合，这导致了聚合物围绕TiO2粒子的受限生长，从而获得TiO2纳米粒子表面覆盖PANI的复合薄膜。 用移液管取0.2 ml TiO2溶胶，加去离子水稀释至0.lwt%；超声15min备用。室温下，将超声过的TiO2溶胶加入到20mL 2.0mol/L的盐酸溶液中，在适度的搅拌下，将0.1mL苯胺单体加入其中。为了避免苯胺单体快速氧化，边搅拌边将适量的(NH4)2S2O8的盐酸溶液缓慢逐滴滴入到混合液中，体系的颜色由透明逐渐加深,变为浅蓝,最终转变为墨绿色。适度搅拌5min后，用0.45um的有机过滤器过滤。(NH4)2S2O8和苯胺单体物质的量之比为1:1。运用芬兰KSV公司的自组装系统制备HCI掺杂PANI/TIO2自组装纳米复合薄膜。将预处理后的基片浸入到PANI/TiO2滤液中，反应20min，取出基片，在空气中自