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上海理工大学研究生课程试题*学年第 1 学期 考试课程 微机电系统设计与制造 学 号 姓 名 得 分 简答题（每题5分，共55分）举例说明MEMS的尺度效应。解释静电驱动光学微镜的工作原理。举例说明压电致动器的工作原理。列举2种热敏致动器的微结构。简述MEMS加速度计的工作原理与应用。简述MEMS陀螺仪的工作原理与应用。简述毛细管电泳芯片的工作原理与应用简述非线性微分方程的数值计算方法。解释RF MEMS开关的吸合电压的物理含义。设计压阻式硅微压力传感器的信号采集电路。MEMS加工工艺与传统机械加工工艺有何区别？计算题（每题15分，共45分）硅微谐振式压力传感器在压力为零时的频率方程为1-cosxchx=0，利用数值计算方法求[2.0,5.0]区间的根，并给出程序调试界面与迭代过程。（15分）硅微振动式陀螺仪在工作过程中需要惯性质量块处于谐振状态，其动力学模型如下图所示。设致动电极梳尺个数为N, 梳尺间距为d，宽度为W。求解：（1）如何让惯性质量块产生谐振? （2）列出产生谐振所需要施加的电压V(t)的表达式，并做解释。（15分）硅微振动式陀螺仪的动力学模型如下图所示有一稳态静电场，长宽分别为120um，90um，上下左右四边的电压值分别稳定在500V，0V，300V，400V，求中间6个节点的电压值。（15分）简答题1、（1）在空中举着的物体手离开时会下落这一宏观领域的知识对微小的灰尘颗粒却不适用； （2）当把潜水艇缩小到针头大小时，螺旋桨无法带动潜艇前进； （3）飞机与苍蝇等微小昆虫的飞行原理有明显不同。2、 在扭转平台和电极之间施加静电力，静电力产生的扭转力矩和扭转梁的弹性恢复力矩相平衡，从而驱动微镜转过一个角度。3、 压电致动器的工作原理主要是利用了压电晶体的“压电效应”——由机械变形产生电荷，从而可作为机械振动敏感元件。在微致动方面利用的则是压电晶体的“逆压电效应”——在晶体的正负极施加交变电压信号，从而使与之粘连的微构件发生机械振动与其他类型的运动。如：将一片长的压电晶体粘结在一根塑料尺的根部，施加频率可调的交变信号源，便可实现塑料尺的多阶固有频率扫描，并可听到塑料尺振动产生的简谐声音的声音由低到高的明显变换。4、 1、V型结构其基本单元是两端固定在基上呈V形的悬臂梁结构，当通过电极施加交变或脉冲电压时，V形悬臂梁的末端可在一定频率范围内实现微幅振动。2、双层梁结构其基本结构是由粘结在一起的两种热膨胀系数不同的材料的物悬臂梁结构，在加热状态下，整个结构向一边弯曲，从而实现驱动功能。热源锚点5、 MEMS加速度计应用较为广泛的是差动电容式，加速度计的工作原理可概述如下：当加速度计连同外界物体（该物体的加速度就是待测的加速度）一起加速运动时，质量块就受到惯性力的作用向相反的方向运动。质量块发生的位移受到弹簧和阻尼器的限制，显然该位移与外界加速度具有一一对应的关系：外界加速度固定时，质量块具有确定的位移；外界加速度变化时（只要变化不是很快），质量块的位移也发生相应的变化。另一方面，当质量块发生位移时，可动臂和固定臂（即感应器）之间的电容就会发生相应的变化；如果测得感应器输出电压的变化，就等同于测得了执行器（质量块）的位移。既然执行器的位移与待测加速度具有确定的一一对应关系，那么输出电压与外界加速度也就有了确定的关系，即通过输出电压就能测得外界加速度。MEMS加速度计可以测量物体动态加速度和静态加速度（倾斜角度），但它在工程领域中的应用远不止如此，它在汽车安全气囊、主动悬挂系统以及飞行器导航等领域也得到实际应用。6、 MEMS陀螺仪的基本工作原理是刚体动力学中的科氏力效应——是对旋转体系中进行直线运动的质点由于惯性相对于旋转体系产生的直线运动的偏移的一种描述。由于旋转中的陀螺仪会对各种形式的直线运动产生反映，所以通过记录陀螺仪部件受到的科氏力可以进行运动的测量与控制。MEMS陀螺仪作为一种新的角速率传感器，目前主要应用在测试精度要求不高的民用领域，诸如汽车稳定性控制，Android，iphone智能手机的手势操作，以及小型无人机姿态控制等。7、 毛细管电泳芯片的基本工作原理是电液动力学原理——管道内的离子在施加电场的作用下，由于其固有的电渗迁移率而被自动分离出来。 其中分离效率用理论塔柏数N表示，，其中V为施加电压，L为毛细管长度。目前毛细电泳芯片已经在制药、医学和人类基因组研究等领域获得了广泛的应用，如药物制剂分析，药物杂质检查，生物样本分析等。8、 非线性微分方程的数值求解可以使用再生核空间数值分析理论和技巧。首先，在问题的解存在和唯一的前提下，在再生核空间W5[0,1]中得到了一类四阶带边值条件的常微分方程求解新算法，得到了精确解的级数形式的精确表达式，证明了数值解的计算误差依结点数的增加严格单调递减并得到