(精)第4章 智能传感器的集成技术.pptVIP

带有片上有源电路的电镀环陀螺的制造过程 集成化学分析系统的清洗、校准、采样方案 堆积流体模块方案 §4.4 典型微机械结构的制造 1、 微传感器 以表面加工为基础的微传感器的设计与研究主要取决于工艺水平与新 结构开发之间的相互关系，下面是基于微机械加工技术的微传感器设计， 制备和测试流程图。 一般来说，我们要研究一种微传感器，首先要明确它的功能及要求， 然后进行结构设计，在进行结构设计时，必须要考虑它的加工方法和步 骤，即工艺流程，而且这两者之间的相互关系要反复多次才能协调起来。 2、 硅微压阻式加速度传感器 1）加速度芯片的制作： 从设计传感器的角度，首先根据 功能要求确定加速度芯片的结构。如： 质量块的质量大小，对应的外形尺寸； 梁的尺寸，应变电阻的位置，应变电阻 阻值的大小，引出方式等；对应最大量 程，质量块的最大振幅以及极限振幅。 在上述工作的基础上再进行结构设计；在进行结构设计的同时需考虑加工 的工艺，即加工手段、方法和加工次序。 a）芯片的选择 N型（100）硅晶体。 b）压敏电阻的制作 微机械压阻加速度计的整体结构 按照集成电阻的制作方法进行：先采用热氧化的方法生成1.5um厚的 氧化层，再进行光刻和扩散形成电阻。 c）质量块和悬臂梁的制作 采用热氧化的