电浆的基础讲述.ppt

电浆的基础原理 1 电浆的定义 电浆 (plasma) 又名等离子 定义: 具有等量的正电荷和负电荷的离子气体, 就是有着带电与中性粒子之準中性的气体 以能量而言,可将电浆视為物质的第四态 Solid → Liquid → Gas → Plasma 电浆的成份 成份: 中性原子或分子,负电(电子)和正电(离子) 在电浆中,电子的浓度大约和离子的浓度相等,即ne = ni 电子浓度对所有气体浓度的比例被定义為游离率(Ionization Rate) 游离率 = ne/(ne+nn) ne =电子浓度,ni =离子浓度,nn =中性原子或分子的浓度 电浆的成份 半导体製程所使用之电浆的游离率通常都狠低,例如PECVD所產生的游离率大約是小于0.0001%,RIE的大约是小于0.01%,而ICP的大约是1至5% 游离率也与压力,电极间的距离,製程气体的种类以及电浆反应器的设计有关 控制施加的功率→控制电子能量→控制游离率 电浆的产生 直流电浆源[Direct Current (DC) Plasma], 用于离子佈植机(Ion Implanter) 射頻电浆源[Radio Frequency (RF) Plasma],用于感应式耦合电浆(ICP) 在抽至高真空的反应室内的两个平行板电极之间加上电压来產生电浆 电浆的产生 由於这两个平行板电极就好像电容器中的电极,所以也称為电容耦合型(Capacitively Coupled)电浆源 RF电浆的产生 两电极中通RF高电压,产生交流电场 如RF能量够高,自由电子会被加速 直到自由电子得到足够的能量来和反应室中的原子或分子碰撞以产生另一个离子和另一个自由电子 离子化碰撞是一连串的反应,因此整个反应室就迅速地充满了等量的电子和离子,也就是充满了电浆 电浆中的碰撞 有许多非弹性碰撞的种类会同时发生在电浆中:电子和中性分子、中性分子和离子、离子和离子、电子和离子等 使用在半导体製程中的电浆而言,有叁种碰撞是最重要的: 离子化碰撞(Ionization Collision), 激发和松弛碰撞(Excitation-Relaxation Collision),以及分解碰撞(Dissociation Collision) 离子化碰撞(Ionization Collision) 当电子与一个原子或一个分子相碰撞,它会将部分的能量传递至受到原子核或分子核所束缚的轨道电子上 如果轨道电子获得的能量而足以脱离核子的束缚,它就会变成自由电子 e- + A → A+ + 2 e- (e-代表电子,A代表中性原子或分子,而A+代表正离子) 离子化碰撞(Ionization Collision) 12 激发和松弛碰撞(Excitation-Relaxation Collision) 在碰撞的过程中,有时候轨道电子无法获得足够的能量来逃脱原子核的束缚 但碰撞后,电子能传递足够的能量而使轨道电子跃升到能量更高的轨道层, 这个过程称为激发(Excitation) e- + A → A* + e- A*是激发状态下的A,表示它有一个电子在较高的轨道层 激发碰撞(Excitation Collision) 1 松弛过程(Relaxation Collision) 激发状态既不稳定而且短暂,在激发态轨道的电子无法在此能量较高的轨道层中停留太久,它会掉回到最低的能阶或基态,这个过程就叫松弛(Relaxation) 激发原子或分子会迅速地松弛到原来的基态,并以光子的型态把它从电子撞击中所获得的多餘能量释放出来,即是发光 A* → A + hv hv 是光子能量, h是蒲朗克常數,v为決定电浆发光顏色的发光頻率 松弛过程(Relaxation Collision) 1 分解碰撞(Dissociation Collision) 电子和分子碰撞时,如果因撞击而传递到分子的能量会比分子的键结能量要高戥,那就能打破化学键并且产生自由基(Free Radicals) e- + AB → A + B + e- AB 是分子,而A和B两者都是由分解碰撞所產生的自由基 自由基是至少带有一个不成对电子的一种分子碎片,因此并不稳定 自由基在化学上是非常活泼的,因為它们有一种狠强的倾向去抢夺其他原子或分子的电子以形成稳定的分子 分解碰撞(Dissociation Collision) 自由基能够促进蚀刻和CVD反应室的化学反应 例如, 在氧化物蚀刻和CVD反应室清洁的步骤中: e- + CF4 → CF3 + F + e- 分解碰撞(Dissociation Collision) * * 原子核 原子核 軌道電子 兩個自由電子 入射撞擊電子 原子核 原子核 基態電子 入射撞擊電子 撞擊電子 激發態電子 原子核 hv hv