[PE工艺作业指导书.docxVIP

PE作业指导书编制人/日期：审核人/日期：批准人/日期：1 目的为了确保PE车间安全生产和员工规范操作，提高生产效率，特制定本标准。2 范围本规范规定了PE车间员工标准操作及注意事项，适用于PE车间全体操作人员。3 相关文件《清洗不净异常处理流程》《18#片异常处理流程》4 定义无5 职责PE车间全体操作人员对此项工作负责。6 环境PE车间重点监控点洁净度要求如下：装片工作区（包括湿法刻蚀上下料工作区）和管P装片和卸片工作区洁净度要求100，000级以下（即≥0.5μm的尘粒最大允许数/立方米小于3，500，000个）。7职业健康安全无8 管理内容8.1捷佳创管式PECVD生产操作规范8.1.1 基本操作流程进舟（选工艺曲线，并记录机号、舟号和时间）取一组清洗干净的硅片和一篮补片按要求每舟装252片正常片记录出片数，送到指定的印刷线将252片正常片卸到相应的印刷篮里测量膜厚、折射率 PECVD生产作业流程8.1.2规范操作步骤8.1.2.1 工作前准备8.1.2.1.1严格佩戴劳保用品，戴好活性炭口罩和PVC手套。8.1.2.1.2 待镀膜的硅片按组分开放置在工作台上，每组396片（16个小花篮）必须与补片在工作台分区摆放，如图16；同一组补片装片时分到其他管P，镀膜结束后合并下传印刷，每台管P分到的补片为8篮。工作台划分示意图8.1.2.1.3工作用品的检查：检查真空吸盘真空压力大小，检查石墨舟是否有损坏，检查小车无损坏并可识别机台。8.1.2.1.4 镀膜Q-Time要求：从甩干完成到管P进舟时间不得超过1h。8.1.2.2 PECVD岗位作业流程8.1.2.2.1 取片：取一篮补片放在装舟架子的最左边（有红色特别标记，如图17）；再从整组硅片里取6篮并排靠右放在架子上，准备好之后开始装片。装舟8.1.2.2.2装舟A面：右侧员工确定石墨舟电极在右手侧后，开始装片，此时两个人全部装整组硅片，全部正着装片（设定装在舟片的A面），即A面108片全部为整组片。8.1.2.2.3旋转石墨舟：装满A面，检查无漏装叠片；将小车拉出一个空间，然后旋转石墨舟180度，准备装B面。8.1.2.2.4装舟B面：旋转之后，左侧员工先确定石墨舟电极在左手侧，则用补片将石墨舟的左边第一列装满18片，其余5列全部装整组硅片，全部正着装片（B面），即B面包括18片补片和90片整组片。8.1.2.2.5复位：检查无漏装叠片；然后将石墨舟旋转180度，恢复初始位置（进舟位置）。8.1.2.2.6进舟：所有的片子装好后，将支持石墨舟的不锈钢支架扶平；检查石墨舟的电极方向，石墨舟电极为上下两个孔，应朝向炉管，如图18所示：石墨舟电极孔上舟按钮在放舟前要确认桨上和炉管内无舟后方可上舟，以免发生撞舟事故。机台下方的平台严禁放置空余石墨舟，以免石墨舟取舟时导致石墨舟挤压坏。8.1.2.2.7运行工艺：选择要进的空炉管，在其电脑显示屏上点击“Select Run”，在弹出的输入界面，输入工艺曲线号、舟号及操作员代号，然后在“仅确认即可运行当前代号的当前工艺”可选项打勾，确认无误后点击确定；最后点击入片按钮，如图19，系统启动自检程序，等待自检完毕后工艺自动开始运行。8.1.2.2.8观察工艺中断：在正常情况下，每次入片时都要检查是否为正确的工艺曲线，若发现工艺有误，请立即通知值班工艺；在工艺运行正常情况下，严禁人为操作工艺跳步功能。8.1.2.3取舟8.1.2.3.1 自动运行完成后，机械臂将自动进行下舟动作，下舟完成后会出现连续的提示音表示生产结束，此时可将小推车缓慢拉出，小心不要接触热石墨舟，以免烫伤。8.1.2.4 卸片8.1.2.4.1 冷却：将炉管里出来的石墨舟置于冷却房内进行冷却，切忌不可接触热石磨舟，以免烫伤。8.1.2.4.2测膜厚：卸片前先测膜厚，要求从电极一侧到另一侧依次取中间一行6片送质检检测，膜厚和外观无异常即可卸片。8.1.2.4.3卸片装篮：卸片时，右边卸片的员工先确认电极孔在右手侧，然后将舟右边第一列的镀膜片（即反手面148片）卸到印补片印刷花篮里，计为补片；该舟其余的片镀膜片则为同一批，加上该组另一石墨舟里的252片，本组镀膜数量仍为400片；各组的印刷花篮分区域放置，如图21。工作台划分示意图8.1.2.4.4卸片库存：若卸片时要装库存，则将硅片正面（蓝色面）朝上整齐落在纤维纸上，每张纤维纸铺4片；只允许用厚纤维纸，且每片纤维纸只允许用3次，在其角上编号。在卸片装库存过程中，只允许用吸盘（笔）吸取硅片。8.1.2.4.5正确填写流程单，将镀好氮化硅膜的硅片送往印刷，库存硅片放入N2柜，并记录存在日期和流程单号。8.1.2.4.6将闲置不用的石墨舟集中指定位置存放。8.1.3装片注意事项8.1.3.1 硅片必须靠紧