净化空调系统中的过滤器选择原则探讨..docxVIP

净化空调系统中的过滤器选择原则探讨摘要：介绍洁净度级别和过滤器效率，将净化厂房分为3个级别：100级、10000级、100000级。从两个方面分析了空气净化系统的过滤器组合对洁净度和过滤器寿命的影响，针对目前出现的问题进行了分析，提出了相应的对策。?关键词：过滤器；滤器效率；洁净度；终阻力；沉降粒子；浮游粒子?0·引言?随着大规模、超大规模集成电路集成度的不断提高，在影响成品率的诸多原因中尘埃导致的比例不断增大，同时足以使电路芯片短路报废的尘埃粒子的直径也必然越来越小。在净化间的一些技术参数如：洁净度、温湿度、气流组织、化学污染的含量、正压值等中间，空调系统的过滤器组合与厂房的洁净度有密切的关系。选择合理的空气过滤器效率级别和空气过滤器的组合对保证厂房的洁净度级别、减少过滤器更换频度、增加过滤器的寿命、降低运行成本有着重要的意义。本文在分析洁净度级别的标准和评价过滤器技术参数的基础上，对我公司所做工程首钢前工序百级净化间的空气净化系统的过滤器使用状况进行了分析，并提出相应的改进措施。?1·洁净度级别及过滤器效率?1.1洁净度级别?国内外有代表性的划分洁净度级别的制度有两种：英制和公制。?英制有美国联邦标准209、美国国家航空和宇宙航行局NASA标准、最新美国联邦标准FS2?0?9?D。?公制有英国标准BS5295、前苏联标准ГCTII-1?7?0-0?5?0.0?0?l-7?3、联邦德国工程师学会标准VDl2083、日本工业标准JIS、中国标准和国际标准ISO?14644等。?下面以有代表性而且为许多国家通用的美国联邦标准FS?209D为例说明：?根据美国联邦标准FS?209D的规定（见表1），含尘浓度作为评价洁净度级别的浓度限定值。评价方法是：在洁净室工作区平面上多点采样，各点在一段时间内连续测得含尘浓度平均值，如果满足表1条件，则认为此洁净室工作区达到该浓度限定值所对应的洁净度级别。??1.2过滤器的主要性能指标??式中：A为滤料层结构特性系数；B为过滤器结构阻力系数；u为过滤器面风速，m/s；n为试验指数。容尘量：当过滤器的阻力（在额定风量下）达到终阻力时，过滤器所容纳的尘埃质量。?1.3过滤器效率检测方法和分类?（1）效率检测方法?常用的效率检测方法：计重法（粗效）、比色法（Dust-spot）（中效）、钠盐法（SodiumF?l?a?m?e）（中国高效）、D?O?P法（美国高效）、油雾法（俄罗斯高效）、荧光法（英国高效）、荧光素钠法（法国高效）、大气尘计数法（中国粗、中效）、MPPS法等。?（2）过滤器效率分类?过滤效率是在特定测试方法下的测试值，在标记效率值时必须注明相应的测试方法，不同的国家有不同的表示方法，见表2。?2?·现状分析?此项目的洁净厂房根据洁净度的不同可以分为三类：100级、l0000级、100000级。?前工序作业室是l00级的净化级别；前工序用力室和后工序的中测、组立、封入是l0000级净化级别；选别和64M车间是l00000级的净化级别。下面分别介绍一下不同级别净化间的空气净化系统流程图。?l00级的空气净化系统：??l00000级的空气净化系统：??下面从两个方面分析空气净化系统的过滤器组合对洁净度及过滤器寿命的影响：?（1）对洁净度的影响?检测净化间的洁净度的方法一般有以下几种（以0.3μm、100?class为例）：?a）新工程完工后要做高效过滤器的扫描检漏标准：0.3μm以上粒子连续增加为0个。?目的：检查高效过滤器的安装及与净化间的接缝处，有无破损和裂缝，有无尘埃泄漏。?检测器：Lasair-110、测定用的台车等。?试验条件：动力空调系统运行良好，环境满足净化要求。?测定点：全部高效过滤器。?测定方法：高效过滤器区域（作业室）。?采样口与高效过滤器的距离30?mm，扫描速度50?mm/s。?检查高效过滤器的平面及周边有无尘埃泄漏。?b）沉降粒子?标准：粒子总数增加不超过100个，尘埃的增加数100个，当超出规格时，需再检一次。试验条件：动力空调系统运行良好，环境满足净化要求。?测定方法：将符合要求的参考片（要求尘埃初始值总数50个）水平放硅片盒上；经过24?h后，测定并计算尘埃数之差。?c）浮游粒子?标准：作业室0.3μm以上粒子35个/CF，用力室0.5μm以上粒子1000个/CF。?测定方法：将激光粒子计数器的采样流量调整到1CFM，连续检测3?min，取平均值，测定高度在工作面区域约为800?mm~1200?mm。此方法是工程中经常采用的方法。一般情况下，最末一级过滤器的过滤效率决定净化间的洁净度级别，以0.3μm、100级洁净间的空气净化系统为例分析，工程实践中一般要选择0.12μm、99.999%的ULPA（U15）。?外气经过喷淋（相当于比色法30%），又经过高效过滤器