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南京理工大学镀膜实验室参观报告.
镀膜实验室参观报告
学院:电子工程与光电技术学院
专业:光电信息工程
学号:
姓名:
指导老师:
完成时间:2012年4月30日
【一】参观目的:
1、熟悉镀膜机及相关仪器的组成部分。
2、了解镀膜机工作原理。
3、了解镀膜过程以及相关注意事项。
二.参观时间:
2012年4月20日
三.参观地点:
南京理工大学镀膜实验室
四.参观内容:
(1)分光光度计(Lambda-950分光光度计光谱仪器。分光光度计仪器主要由光源、单色器、样品室、检测器、信号处理器和显示与存储系统组成采用一个可以产生多个波长的光源,通过系列分光装置,从而产生特定波长的光源,样品分光光度计
Lambda-950分光光度计
光学镀膜机(PMC-90S镀膜机)的组成、功能及镀膜方法
真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,主要分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。 对于溅射类镀膜,利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。
镀膜机计算机:控制镀膜过程
温度计、真空度、流量计、电子枪、离子源控制等
除此之外,我们还参观了辅助镀膜的工具和材料:
超净工作台 镀膜材料
坩埚:供电子枪轰击镀膜材料 阴极材料:产生电子
然后我们参观了后场:
真空泵 扩散泵
此外我们还了解了操作规程及注意事项等:
【五】参观感想及心得
通过此次参观镀膜实验室我了解到了与我们光学设计、光学器材、成像等方面息息相关的光学镀膜的相关内容,这次实践参观对我来说是一次宝贵的经历,让我了解到了课堂上所学习到的理论知识的应用。
此次参观使我对镀膜工艺有了极大的兴趣。在参观完成之后,通过我对镀膜机的认识以及老师的讲解,我进一步查阅相关的资料,对镀膜过程、镀膜领域的发展现状以及镀膜原理等有了更加深刻的认识,比如溅射法、真空蒸发沉积镀膜的原理,扩散泵获得真空的方法,镀膜时激光器、离子源的工作,国内外镀膜领域的状况等,我想这也是此次参观的重大收获之一吧。
另外,作为工科学生,动手能力是最主要的能力之一。此次参观中,通过老师的讲解,我认识到了,镀膜的过程虽然主体上是电脑控制的,但是许多因素是要求操作人员注意控制和调整的,些许失误或疏漏就可能导致镀膜失败、损坏器件,甚至引发事故;同时镀膜过程是繁琐的,不仅仅是在镀膜的时候需要我们操作,还需要大量时间对镀膜机进行维护、清理等工作。
总之,,通过对镀膜实验室的参观,我对镀膜实际操作流程、内容有了非常直观的认识,也对镀膜的原理有了更进一步的体会,同时对镀膜的仪器、器件和材料有了一定水平的了解,做到了光学薄膜课程的理论与实践的结合。
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