P040刘聪实习报告2.ppt

实习报告 超净学习 本周学习 下周学习计划 本周学习 扩散炉点检 废气室点检 扩散炉的常规保养 扩散炉点检 1 石英门或者尾气管：尾气管无堵塞。检查炉门传感器和靠近观察确定石英门密封严密。 2 浆的位置在炉的正中：进出炉时观察匀流板来确定浆位置。 3 小N?：实际值与设定值上下浮动不超过2%。 4 大N?：实际值与设定值上下浮动不超过20%。 5 O?：实际值与设定值上下浮动不超过20%。 6 源瓶：处于恒温槽中正确位置。 7 源瓶进气管和出气管：密闭良好且无堵塞。 8 小N?进气管：密闭良好且无堵塞。 9 温控仪显示：显示值等于设定值。 10 恒温槽水位：标准水位，距恒温槽顶部2cm。 11 循环水：水流正常，压力正常。 废气室点检 第四步通源时去废气室点检 1 源瓶内是否鼓泡，相邻源是否正常。 2 气路是否堵塞：查看气路管是否有固体堵塞。 3 恒温槽温度是否正常：20度，偏差0.5度。 4 恒温槽的水质是否正常：PH试纸检测水是否成酸性，观察恒温槽是否被腐蚀或者有铁锈，PH试纸检测进出气口连接处是否漏气。 5 检查排废管连接处是否正常 6 气源柜是否整洁。 7 填写第四步点检表：日期、班组、profile热偶检测值、小N?大N?O?流量、源温度。 扩散炉的常规保养 1 石英门：洁净无磷源残余。 2 浆：洁净无磷源残余。 3 恒温槽：底座无锈，水不显酸性。 4 石英器皿：洁净无硅末附着。 5 小N?进气管或者尾气管：密闭良好且无 堵塞。 6 丝杠：良好不卡炉且无多余润滑油。 7 过滤网：洁净且过滤效果良好。 下周学习计划 扩散炉报警处理。 扩散炉异常处理。 继续了解扩散炉的结构。 继续学习工艺 继续学习调试扩散炉 Thanks * * *