第18章半导体器件物理分析.ppt

第18章 半导体器件物理基础 18.1 p-n结 18.2 半导体表面 18.3 金-半接触 18.2 半导体表面 1.半导体的表面态 纯净表面——理想表面 实际表面 氧化层填补了一定的悬挂键，但是由于其与晶格的不完全匹配，悬挂键不可能完全被填充，故仍存在一定的表面态密度 表面态 施主表面态 受主表面态 表面能级被电子占据是呈中性，施放电子时呈正电性 表面能级空着时呈中性，接受电子时呈负电性 实验证明，表面施主能级更靠近价带 实验证明，表面受主能级更靠近导带 18.2 半导体表面 2.表面的电场效应——表面的三种基本状态 表面施主态 表面带正电 近表面的半导体层就感应出负电荷 有表面指向半导体的电场 产生的表面电势差Vs0，即表面势必内部高； 对电子（导带）而言附加电势能为-qVs；对空穴（价带）而言附加电势能为qVs； 无论导带还是价带，附加电势能都将使得能带向下弯曲； EC EV EF 电子 空穴 E qVS n型半导体+表面施主态 电子（多子）积累 18.2 半导体表面 2.表面的电场效应——表面的三种基本状态 EC EV EF qVS p型半导体+表面施主态 空穴（多子）耗尽 p型半导体+强的表面施主态 空穴（多子）耗尽+反型 EC EV EF Ei 反型层 耗尽层 18.2 半导体表面 2.表面的电场效应——表面的三种基本状态 表面受主态 表面带负电 近表面的半导体层就