(防指纹喷涂镀膜机设备与工艺方案建议.pptVIP

真空蒸镀法与常压蒸镀法比较表 　 市场售价(未税价) 膜层工艺 单位生产节拍 产能(4 inch) 运转耗电量 机台本体占地面积 真空pump 镀膜前处理方式 加热方式 膜厚量测 真空蒸镀法(电子束机种) 日本机：500~600万RMB(视配备) 韩国机：200~300万RMB(视配备) 国产机：80~150万RMB(视配备) 真空镀膜法 每炉约30 min (每小时可完成两炉)(实际操作，每炉需要40分钟) 235 pcs/每炉 ; 470 pcs/hr ≧40 仟瓦小时 ≧12m2 前级为机械pump，高真空高阶机种配cryo pump，一般机种配油扩散pump即可(价格有差异) 离子源(真空) 腔体内部提供加热，使被镀物升温 膜厚量测仪(石英震荡片为耗材)(低阶机种无此项配置) 常压蒸镀法(馗鼎机种) 商业机密，见面详谈 等离子前处理+常压蒸着法 连续式(线速度：0.5米/分钟) 1800 pcs/hr(视版型与排盘方式) 约4仟瓦小时 ≦5m2 无 常压电浆(DBD) 本设备毋需对基材加热(后制程外接隧道式烤箱软烤固化药水) 无需量测(均厚约20nm) Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyrigh