第三章电容式传感器总汇.ppt

电容式接近开关在物位测量控制中的使用演示 四、高分子电容式湿度变送器 该仪器是利用高分子薄膜湿敏元件测量湿度的。高分子薄膜式湿敏元件应用的是平板电容器原理。在绝缘基片上依次形成上电极、感湿膜、下电权。湿敏元件在不同相对湿度的大气环境中，因感湿膜吸附水分子而使电容值呈现规律性变化感湿膜是聚酰亚肤高分子聚合物，它吸收 环境中的水分，使其介电常数发生变化，从而引起电容量变化，达到测湿目的。 它由固定额率方波脉冲发生器、脉宽调制电路、滤波、放大电路等组成。固定频率方波脉冲电路产生定周期脉冲，触发后续脉冲宽度调制电路，使脉宽TX正比于湿度电容CX，然后将输出信号进行滤波后，取出直流信号，再经放大电路、调零电路和温度补偿电路，最后输出一个与相对湿度相对应的标准电压信号。 图3-23 高分子电容式湿度变送器 2．消除和减小边缘效应 适当减小极间距，使电极直径或边长与间距比增大，可减小边缘效应的影响，但易产生击穿并有可能限制测量范围。 电极应做得极薄使之与极间距相比很小，这样也可减小边缘电场的影响。边缘效应不仅使电容传感器的灵敏度降低，而且产生非线性。为了消除边缘效应的影响，可以采用带有保护环的结构 + - 图 边缘效应 可在结构上增设等位环来消除边缘效应。 等位环3与电极2同平面并将电极2包围，彼此电绝缘但等电位，使电极1和2之间的电场基本均匀，而发散的边缘电场发生在等位环3外周不影响传感器两极板间电场。 等位环3 + - 图 带有等位环的平板式电容器传感器 电极1 电极2 寄生电容与传感器电容相并联，影响传感器灵敏度，而它的变化则为虚假信号影响仪器的精度，必须消除和减小它。 （1）增加传感器原始电容值 （2）注意传感器的接地和屏蔽； （3）集成化 （4）采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术 （5）采用运算放大器法； （6）整体屏蔽法 3．消除和减小寄生电容的影响 （1）增加传感器原始电容值　　 采用减小极片或极筒间的间距(平板式间距为0.2~0.5mm，圆筒式间距为0.15mm)，增加工作面积或工作长度来增加原始电容值，但受加工及装配工艺、精度、示值范围、击穿电压、结构等限制。一般电容值变化在 10-3~103 pF范围内，相对值变化在 10-6~1范围内。 （2）集成化　　 将传感器与测量电路本身或其前置级装在一个壳体内，省去传感器的电缆引线。这样，寄生电容大为减小而且易固定不变，使仪器工作稳定。但这种传感器因电子元件的特点而不能在高、低温或环境差的场合使用。 （3）“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术 当电容式传感器的电容值很小，而因某些原因(如环境温度较高)，测量电路只能与传感器分开时，可采用“驱动电缆”技术。 采用这种技术,当电容式传感器的初始电容值很大(几百μF)时，只要选择适当的接地点仍可采用一般的同轴屏蔽电缆，电缆可以长达10m，仪器仍能正常工作。 图 “驱动电缆”技术 1：1 + 测量 电路 外屏蔽层 内屏蔽层 芯线 传感器 - 传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆，其内屏蔽层与信号传输线(即电缆芯线)通过增益为1的放大器成为等电位，从而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电场的干扰。 图 运算放大器法 -A uo C Cx ∑ ～ （4）运算放大器法 利用运算放大器的虚地减小引线电缆寄生电容CP。电容传感器的一个电极经电缆芯线接运算放大器的虚地Σ点,电缆的屏蔽层接仪器地,这时与传感器电容相并联的为等效电缆电容Cp/(1＋A)，大大减小了电缆电容的影响。外界干扰因屏蔽层接仪器地，对芯线不起作用。 -A uo C Cx ∑ ～ 传感器的另一电极接大地，用来防止外电场的干扰。若采用双屏蔽层电缆，其外屏蔽层接大地，干扰影响就更小。实际上，这是一种不完全的电缆“驱动技术”，结构较简单。开环放大倍数A越大，精度越高。选择足够大的A值可保证所需的测量精度。 -A uo C Cx ∑ ～ （5）整体屏蔽法 将电容式传感器和所采用的转换电路、传输电缆等用同一个屏蔽壳屏蔽起来，正确选取接地点可减小寄生电容的影响和防止外界的干扰。 　 C1和C2构成差动电容传感器，与平衡电阻Z1和Z2组成测量电桥，Cp1和Cp2为寄生电容 。 C1 C2 CP1 CP2 Z1 Z2 -A 交流电桥的整体屏蔽 屏蔽层接地点选择在两平衡电阻阻抗臂Z1和Z2中间，使电缆芯线与其屏蔽层之间的寄生电容Cp1和Cp2分别与Z1和Z2相并联。如果Z1和Z2比Cp1和Cp2的容抗小得多，则寄生电容Cp1和Cp2对电桥平衡状态的影响就很小。 C1 C2 CP1 CP