热偶真空计的校准..docxVIP

高真空的获得与测量及热偶真空计的校准 一、实验目的1．掌握高真空的获得和测量的基本原理及方法；2．熟悉静态膨胀法校准热偶真空计系统的结构、原理与操作方法；3．了解真空技术的基本知识和基本技能。二、实验原理1、真空的获得真空的获得是由真空泵来完成的。一般真空实 验室经常使用的是机械泵和扩散泵，用于超高真空的是钛升华泵和低温泵。真空泵的基本原理：当泵工作后，形成压差，p1 p2，实现了抽气。真空泵按其工作机理可分为排气型和吸气型两 大类．排气型真空泵是利用内部的各种压缩机构，将被抽容器中的气体压缩到排气口，而将气体排出泵体之外，如机械泵、扩散泵和分子泵等．吸气型真空泵则是在封闭的真空系统中，利用各种表面（吸气剂）吸气的办法将被抽空间的气体分子长期吸着在吸气剂表面上，使被抽容器保持真空，如吸附泵、离子泵和低温泵等． 真空泵的主要性能可有下列指标衡量： （1）极限真空度：无负载（无被抽容器）时泵入口处可达到的最低压强（最高真空度）（2）抽气速率：在一定的温度与压力下，单位时间内泵从被抽容器抽出气体的体积，单位（升/秒）（3）启动压强：泵能够开始正常工作的最高压强2、静态膨胀法校准热偶真空计实验原理 静态膨胀法压力校准系统是克努曾于1910年提出的。这种校准系统适合于中、低真空计的校准，其校准精度较高，应用广泛。 但进入高真空（p＜10-2Pa）后，由于器壁的吸气与放气十分显著，需要设法减