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2011年10月工作总结 时间一晃，三个星期的培训工作转眼就结束了，在前辈们的指导和帮助下，也通过自己的努力，学习到了不少东西，当然还有很多东西需要学习，需要继续努力。 基本情况： 通过在二车间实验室三个星期的学习，对于如何制作太阳能电池片有了一定的了解。 第一周：安全培训以及熟悉实验室设备、环境； 第二周：学习制作第一批25p电池片，成品17p，产线效率有3p达17.5%，最高17.55%； 第三周：自己独立完成第二批30p片子的制作，无碎片，实验室效率有13p达17.5%，最高17.91%，详细数据见后面实验报告。 在此期间，关于我的课题，进行了讨论，目前制定了以下计划： 退火复原 加热光照 深层次的元素分析 理论模型及推算 PID，组件和N型的都可以先做下表面的现象分析，后续看有无可深入研究的内容。 如果没有可作为大论文的一个分支也合适。 B、O、Fe的杂质含量分析 理论推算 Fe可以作为论文的创新点去挖掘一下 C含量对电池的影响，考虑到我们这边之前对这方面涉及少，初期对她不能做太多的指导，可以将这个内容放到她博三四年级的时候去思考。 关于电池片制作的学习阶段已经结束，所制作的电池片也能基本达到要求； 下一阶段将进入课题的研究，11月份会先着手研究一下PID。 实验情况： 电池制作工艺流程 制绒 原理：Si+2NaOH+H2O→Na2SiO3+2H2↑ 目的：制备绒面，减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率 配液：8.5L水+200gNaOH+600ml乙醇+80ml添加剂 设定温度：78 设定时间：1000s 腐蚀深度：187μm-174μm=13μm 清洗 流程：HF→水→1#液→水→2#液→水→HF→水→甩干 原理：HF去除硅片表面氧化层： HCl去除硅片表面金属杂质：盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与Pt 2+、Au 3+、Ag+、Cu +、Cd2+、Hg 2+等金属离子形成可溶于水的络合物。 配液：1#液：氨水：双氧水：水=1:1:10，氨水、双氧水各600ml 2#液：盐酸：双氧水：水=1:1:10，盐酸、双氧水各600ml 扩散 原理：（POCl3高温下的热分解反应式） （生成的P2O5在扩散温度下与硅反应） （存在外来O2时，PCl5会进一步分解） （有氧气存在时，POCl3的热分解反应式） 目的：形成p-n结 2次扩散程序参数： 第一次 set time(min) Set temp(℃) N2/slpm O2/slpm N2s/slpm N2/slpm 20 1.5 0.6 10 load / 865(3,0,12) √ × × √ Stable 20 865(3,0,12) √ × × × Diffuse 40 865(3,0,12) √ √ √ × Purge 30 865(3,0,12) √ × × × unload / 865(3,0,12) √ × × √ 第二次 set time(min) Set temp(℃) N2/slpm O2/slpm N2s/slpm N2/slpm 20 1.5 0.6 10 load / 865(3,0,12) √ × × √ Stable 20 865(3,0,12) √ × × × Diffuse 25 865(3,0,12) √ √ √ × Purge 30 865(3,0,12) √ × × × unload / 865(3,0,12) √ × × √ 去PSG 原理：POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃。氢氟酸能溶解SiO2。 流程：HF→水→甩干 RENA 原理：采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性生成物而被去除。 线上工艺 PECVD 原理：利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。 线上工艺 膜厚（nm） 78.7 78.3 78.8 折射率 2.0871 2.0859 2.0828 印刷 第一道：背电极印刷 网版型号：S125-002-Ⅰ 浆料型号：第一批PS33-612第二批Ag-B05-1 湿重：第一批0.05g 第二批0.047g 第二道：背电场印刷 网版型号：S125-002-Ⅱ 浆料型号：6080-26H 湿重：第一批1.2g 第二批0.7g 第三道：正电极印刷 网版型号：NPV-RD