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膜技术在电子工业纯水制造中的应用2行政论文范文大全 膜技术在电子工业纯水制造中的应用 　　三、微电子工厂纯水站使用膜技术实况 　　现以某微电子工厂中的某一纯水站使用膜技术的实况，说明膜技术在电子工业纯水制造中的应用。其纯水制造系统工艺流程见图1。 　　1.前级uf 　　前级uf是用于去除水中的悬浊物、胶体及有机物，降低水的sdi值，确保ro的安全运行。前级uf有5组，每组45根组件，共225根组件，进水280m3/h，透过水250 m3/h，浓缩水排放，回收率约90%。uf组件为美国romicon公司生产，型号hf-bz-20-pm80，组件直径5in，长43in，内压式中空纤维膜，纤维直径20mil（0.51mm），共有2940根纤维，膜面积132ft2，膜材料为ps（聚砜），截留分子量8万。uf前采用5μm保安过滤器。 　　2.一级ro 　　水中加入还原剂na2so3（加药量为水中余氯值的1.8倍）以防止余氯氧化腐蚀ro膜，加入防垢剂（napo3）6（加药量为5ppm）以防止caco3、caso4等在ro膜上结垢，再经5μm 保安过滤器后由高压泵打进一级ro。一级ro有4组，均为二段。其中三组为每组8根膜容器，呈（5+3）排列，第4组为11根膜容器，呈（8+3）排列，膜容器由frp（玻璃钢）制成，每根内装6个ro元件，总共为210个ro元件，进