VAS作业指导书分解.docVIP

VAS作业指导书 NO 版次 修订内容 生效日期 修订人 1 1.0 首次发行。 2014-11- 王晓玲 拟制/面板厂 王晓玲 审核 批准 会签 1 目的 指导和规范真空贴合机台生产作业，以保证生产的顺利进行。 2 适用范围 适用于上海天马制造中心面板厂ODF VAS岗位员工 3 定义 （1） VAS；真空贴合系统 Vacuum Assembly System的简写 （2） EMO：紧急停止RUN：启动键Alarm：警报System：系统T/P：Touch Panel触摸式操作屏Recipe：程序。 图1-1 1.1.2选择Recipe Setting，如图1-2红圈所示。 图1-2 1.1.3在弹出对话框中输入密码，根据工艺 卡选择对应得Recipe，如图1-3所示。 图1-3 1.1.4点击Change Recipe，在界面右上角中确认 当前Recipe是否已更改正确，确认无误后点击EXIT退出。 图1-4 1.1.6设备日常点检 对设备各参数进行点检，点检记录填写到《设备维护保养记录表（日）》，若数值不在点检范围内，通知工程师处理。 2.1原点复归 2.1.1 在Touch Panel根目录中点击 “Run ”。如图2-1红圈所示： 图 2-1 2.1.2选择“Init”选项。进入如下2-2界面。 图2-2 2.1.3点击“ Mode” 按钮，选择Auto模式，按“ Origin”，使机台完成原点复归。 2..2机台自动运转 2.2.1如图2-3所示选择“Auto Monitor”选项。 图 2-3 2.2.2点击Touch Panel下方的START按钮，机台左上角显示为“Run Process”。 3.1设备停止 3.1.1设备中有基板时，按下Touch Panel下方的stop，设备做完当前动作后停止。 3.1.2设备中有基板时，按下Touch Panel上的Cycle stop，设备做完当片基板制程并排出后即停止，不再接收新的基板。 3.1.2设备中无基板时，按下Touch Panel下方的stop或Touch Panel上的Cycle stop设备均会停止自动运行。 Origin闪烁说明在动作中，稳定在黄色后说明动作已完成 只有在Auto Monitor界面下设备才能进入自动运行状态。 只有在Press前Cycle stop才有效 设备内不能有安全支柱，Cleaning棒等物品 5 异常处理： 5.1报警常规处理流程： 5.1.1报警处理流程图 图 5-1 5.1.2查看报警内容 5.1.2.1 VAS自动运转步骤如下图，当某一步骤条件不满足时，Alarm发生 图 5-2 5.1.2.2 Alarm发生后设备会发出报警音乐提醒操作者注意，同时设备状态指示灯变成红色，Touch Panel画面会弹出对话框，显示报警内容。 图 5-3 5.1.2.3也可以在根目录下