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车间生产各工序工艺简介一、硅太阳能电池的结构及其工作原理：其主要是利用硅半导体p-n结的光生伏打效应。即当太阳光照射p-n结时，便产生了电子-空穴对，并在内建电场的作用下，电子驱向n型区，空穴驱向p型区，从而使n区有过剩的电子，p区有过剩的空穴，于是在p-n结的附近形成了与内建电场方向相反的光生电场。在n区与p区间产生了电动势。当接通外电路时便有了电流输出。图1. 硅太阳能电池结构示意图二、硅太阳电池的制造各工序工艺简介：图2. 硅太阳能电池制造工艺流程示意图制绒工序单晶制绒：目的与作用：（1）去除单晶硅片表面的机械损伤层和氧化层。（2）利用碱(KOH)在单晶硅表面形成类似“金字塔”状的绒面，产生二次光吸收或多次吸收，有效增强硅片对入射太阳光的吸收，提高光生电流密度，从而提高转换效率。图3..二次光吸收示意图多晶制绒：目的与作用：（1）去除单晶硅片表面的机械损伤层和氧化层。（2）利用反应后形成类似“凹陷坑”状的绒面，有效增加硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流密度，提高单晶硅太阳能电池的光电转换效率。安全提示：制绒工序的重要污染物为制绒所用到的各化学药品以及其反应产物。制绒工序所用到的原材料KOH、HCl、HF、HNO3都是强腐蚀性的化学药品，其固体颗粒、溶液、蒸汽会伤害到人的皮肤、眼睛、呼吸道，所以操作人员如有要进行接触化学药品作业时一定要按照规定穿戴防护服、防护面具、防护眼镜、长袖胶皮手套。一旦有化学试剂伤害了员工的身体，马上用纯水冲洗15－30分钟，送医院就医。如果是HF与身体接触后，要立即用六氟灵药液清洗后，用纯水冲洗15－30分钟，再用药膏涂抹后，送医院就医。扩散工序磷扩散原理：POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子。P沉积在硅片表面后通过高温使P 扩散到硅片内部，在硅片上形成PN结。扩散的目的：制造太阳能电池的PN结安全提示：扩散工序的重要污染物为POCl3（具有刺激性气味，有剧毒，可引起急性中毒）以及反应所产生的PCl5，P2O5，Cl2均有毒性，腐蚀性，设备方面要注意炉管的密封性防止泄漏。扩散温度较高（800℃以上）需注意高温防护。POCl3紧急情况应急处理由于POCl3的危害，在生产过程中意外接触，应按以下方法采取应急处理1）、吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸；之后立即就医。2）、皮肤接触：立即用大量清水冲洗患处,并脱掉受污染的衣物，并立即就医。3）、眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟，隐形眼镜必先除去或用水冲出来，并立即就医。4）、食入：用水漱口，无腐蚀症状者洗胃。忌服油类，并立即就医。5)、急救人员防护：橡胶耐酸碱手套、不宜用口对口人工呼吸。PSG（去磷硅玻璃）工序在扩散中，会在硅片表面形成一层含有高浓度的磷的氧化层(磷硅玻璃相PSG)，利用HF具有能够溶解二氧化硅的特性，采用过量的HF来去除磷硅玻璃：HF + SiO2 → H2SiF6 + H2O去除磷硅玻璃的目的、作用：1）、磷硅玻璃的厚度在扩散中工艺难控制，且其工艺窗口太小，不稳定。2）、磷硅玻璃的折射率在1.5左右，比氮化硅折射率（2.07左右）小，若磷硅玻璃较厚会降低减反射效果。3）、磷硅玻璃中含有高浓度的磷杂质，会增加少子表面复合，使电池效率下降。安全提示：PSG工序的重要污染物为反应所用到的各化学药品以及其反应产物。PSG工序所用到的原材料HCl、HF、NH4F都是强腐蚀性的化学药品，其溶液、蒸汽会伤害到人的皮肤、眼睛、呼吸道，所以操作人员如有要进行接触化学药品作业时一定要按照规定穿戴防护服、防护面具、防护眼镜、长袖胶皮手套。一旦有化学试剂伤害了员工的身体，马上用纯水冲洗15－30分钟，送医院就医。如果是HF与身体接触后，要立即用六氟灵药液清洗后，用纯水冲洗15－30分钟，再用药膏涂抹后，送医院就医。PECVD（沉积减反射膜）工序PECVD是借助微波使含有NH3、SiH4原子的气体电离，形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在硅片上沉积出氮化硅薄膜。沉积减反射膜的作用、目的：1）、沉积减反射膜实际上就是对电池进行钝化。钝化可以去掉硅电池表面的悬空键和降低表面态，从而降低表面复合损失，提高太阳电池的光电转换效率。2）、钝化作用能使硅电池表面具有很小的反射系数，减少光反射损失，提高太阳电池的光电转换效率。安全提示：PECVD工序的重要污染物为反应所用到的SiH4和NH3以及其反应产物。设备的工艺气体为SiH4和NH3，二者均有毒，且SiH4易燃易爆。设备运行时会产生微波辐射，每次维护后和停机一段时间再开机前都要检测微波