真空技术基础和应用剖析.ppt

Outlines(概述）: Key points (技术要点) Practical concerns :(实用技术） Surface (表面的真空特性) Material (真空材料的采用）: SUS（不锈钢）, Al alloy（铝合金）, ceramic（陶瓷）, plastic（塑料）, Baking（烘烤技术） Virtual leak（虚假漏气） Leak test （检漏技术） UHV （超高真空的获得） 什么是真空？ 真空：气体分子数量低于大气压状态的空间。但不是完全空的 真空术语 本底真空度：全密封真空腔体内抽空时的气压 工作真空度：实验或工艺过程所必须的气压力 极限真空度：真空泵进气口处测量得到的气压 真空规： 测量真空中气压的仪表或者传感器 气压单位间的换算关系 大气压 标准大气压： 0度时，760mm 水银柱产生的压强。 大气压： 地球表面上，大气层产生的气压 随海拔高度和纬度不同而不同，在海拔3000米以内，每升高12米，降低1torr. 工业大气压： 1am=1kg/cm2=735.56torr 一个大气压约为1公斤压力 真空的分类 根据：真空应用范围、真空物理特性、真空泵和真空规的使用范围等，划分真空度。 真空技术的发展历史 1