传感器1101[精选].ppt

板状线位移变面积型 （1）线位移式电容传感器 极板起始覆盖面积为A = a×b，沿活动极板宽度方向移动Δa，则改变了两极板间覆盖的面积，忽略边缘效应，改变后的电容量为 电容的变化量为 灵敏度为 灵敏度系数KC为常数，可见减小极板宽度a 可提高灵敏度，而极板的起始覆盖长度b 与灵敏度系数KC无关。但b不能太小，必须保证b＞＞d，否则边缘处不均匀电场的影响将增大。 平板式极板作线位移最大不足之处是对移动极板的平行度要求高，稍有倾斜会导致极距d变化，影响测量精度。因此在一般的情况下，变面积式的电容传感器常作成圆柱式的。 同心圆筒形线位移电容式传感器 （2）圆柱式线位移电容传感器 在不计边缘效应影响时，圆柱式的电容器的电容量为 式中 l ——外圆柱筒与内圆柱重叠部分长度； r2——外圆柱内径； r1——内圆柱外径。 动极（圆柱）沿轴线移动Dl时，电容的变化量为 若采用差动结构，动极向上移动Δl，则上面部分的电容量Ca增加，下面部分的电容量Cb减少，使输出为差动形式，有 比较可以看出，采用差动式结构，电容变化量增加一倍，则灵敏度也提高一倍。  角位移变面积型 （3）角位移式电容传感器 设两半圆极板重合时，电容量为 动极2转过角，电容量变为 则有电容变化量为 则灵敏度系数为 综合上述分析，变面积式电容传感器不论被测量是线位移还是角位移，位移与输出电容都为线性关系（忽略边缘效应），传感器灵敏系数为常数。 3变介电常数型电容式传感器 厚度为d2的介质（介电常数为e2）在电容器中移动时，电容器中介质的介电常数（总值）改变使电容量改变，于是可用来测量位移x。有 ， ，无介质e2时，有 当介质e2移进电容器中x长度时，有 设式中 则有 因式中A是常数，电容量C与位移量x成线性关系。上述结论均忽略了边缘效应。实际上，由于边缘效应，将有非线性，为此，并使灵敏度下降。 变介电常数式电容传感器中的极板间存在导电物质，极板表面应涂绝缘层，防止极板短路，如涂厚度为0.1mm的聚四氟乙烯薄膜。 5.2电容式传感器的输出电路及等效电路 5.2.1等效电路 以上对各种电容传感器的特性分析，都是在纯电容的条件下进行的。这在可忽略传感器附加损耗的一般情况下也是可行的。若考虑电容传感器在高温、高湿及高频激励的条件下工作而不可忽视其附加损耗和电效应影响时，其等效电路如图所示。 C为传感器电容， Rp为低频损?耗并联电阻，它包含极板间漏电和介质损耗； R为高湿、高温、高频激励工作时的串联损耗电组，它包含导线、极板间和金属支座等损耗电阻； L为电容器及引线电感； 　 当不考虑RP时，有 式中 Ce——传感器的等效电容； w——电源角频率（w=2pf）。 由于传感器自身的电容量（包括寄生电容）很小，电源频率又很高（几兆赫），故容抗（1/jwC）很大，相比之下，电阻R的影响可忽略，则有 有效电容的增量为微分 有效电容的相对变化量为 电容传感器的有效灵敏度系数为 可以得出如下结论：电容传感器的有效灵敏度系数与2项有关，随w 和L变化。电容传感器工作与标定的条件应相同：电源频率不变，引线长度不能改变。引线长度改变需对电容式传感器的有效灵敏度重新标定。上面各式的成立条件为电源频率在兆赫左右，此时有效灵敏度系数高于电容器本身的灵敏度系数。 5.2.2电容式传感器的输出电路 电容式传感器中电容值以及电容变化值都十分微小, 这样微小的电容量还不能直接为目前的显示仪表所显示, 也很难为记录仪所接受, 不便于传输。这就必须借助于测量电路检出这一微小电容增量, 并将其转换成与其成单值函数关系的电压、电流或者频率。