20120525第三次课_超净实验室安全培训讲座解读.pptVIP

3）四氯化碳（CCl4）： 用途：溶解剂、灭火剂、农药。 性质：有毒、不易燃、易挥发、微溶于水，易溶于有机溶剂。 危害：有毒，具有刺激性，对中枢神经系统有麻醉作用。对环境有严重危害，对水体和大气可造成污染。 5 危险化学品：（2）强危险化学药品 （三）超净实验室安全管理规范 MOCVD：V族源（AsH3，PH3） III族源（TMAl，TMGa，TMIn，TEGa） 掺杂源：SiH4 ，DEZn 载气：H2 ICP：Cl2, BCl3, HBr, CH4, SF6, H2, O2, Ar, N PECVD：SiH4, NH3, CF4, N2O, O2, Ar, N MBE：As氧化（As2O3：砒霜 ） Photolithography：光刻胶 氢气房：H2 液氮 （三）超净实验室安全管理规范 5 危险化学品：（3）其它危险化学品 超净实验室内部和外部环廊都设有火灾、H2、和有毒气体探测监控报警系统。 如遇火灾、H2、有毒气体泄露等险情，应按“逃生路线图”指示说明，尽快撤离超净实验室。 撤离路线：在有门有玻璃窗的地方就近撤离。 6 紧急疏散 （三）超净实验室安全管理规范 7 逃生路线图 （三）超净实验室安全管理规范 外廊 外廊 外廊 外廊 MOCVD 危险气体房 减薄抛光 化学清洗间 光刻间 材料测试间 电梯 楼梯 ICP PECVD E-beam 热蒸发 Sputter Sputter E-beam 全息光刻 MBE 封装室 1 封装室 2 封装室 3 高低温炉 RTP 去胶机 台阶仪 值班室 UPS 超净实验室内的工作桌面、地面不得存放纸质包装箱。 设备、材料进入超净实验室必须除去外包装，并擦拭干净。 重设备、设施移动应采用适当工具、途径，注意保护地面。 超净实验室内非设备维护不得带入书籍、资料，严禁带入包裹、食品、衣物等生活用品。 8 卫生 （三）超净实验室安全管理规范 用户使用设备须严格遵守设备操作规程，并做好实验记录。 实验过程中，要记录设备使用状态，和工艺参数。 实验结束后，用户要认真检查实验设备，并填写设备使用登记表。 9 实验记录 （三）超净实验室安全管理规范 污染和工艺的关系； 如何降低污染？ 思考： （一）危险化学品 报警 建立警戒区 紧急疏散 现场急救 溢出或泄漏处理 火灾控制 7 危险化学品事故的应急处理： （一）危险化学品 1） 报警： 事故时间、地点； 事故化学品的名称和泄漏量； 事故性质（外溢、爆炸、火灾）； 危险程度及有无人员伤亡； 报警人姓名及联系电话。 事故报警的及时与准确，是及时实施应急救援的关键！ 7 危险化学品事故的应急处理： （一）危险化学品 2）建立警戒区： 事故发生后，应根据化学品泄漏的扩散情况建立警戒区，并在通往事故现场的主要干道上实行管制。 注意事项： 警戒区域的边界应设警示标志并有专人警戒，除消防及应急处理人员，其他人员禁止进入警戒区。 泄漏溢出的化学品为易燃品时，区域内应严禁火种。 7 危险化学品事故的应急处理： （一）危险化学品 3）紧急疏散： 警戒区内与事故应急处理无关的人员撤离，以减少不必要的人员伤亡。 注意事项： 如事故物质有毒时，应急人员需佩戴专业防护器具； 要向上风方向转移； 要有专人引导和护送疏散人员到安全区； 不要在低洼处滞留； 要查清是否有人留在污染区与着火区。 7 危险化学品事故的应急处理： （一）危险化学品 4）现场急救： 如有人员受伤，须进行紧急救护，减少伤害。可能的伤害有：中毒、窒息、化学灼伤、烧伤、冻伤等。 急救处理步骤：除去污染衣物、冲洗、共性处理/个性处理、转送医院。 急救注意事项： 把神志不清的病员置于侧位，防止气道梗阻； 呼吸困难时给予氧气吸入； 呼吸停止时立即进行人工呼吸； 心脏停止者立即进行胸外心脏挤压。 对伤员污染衣物处理，防止发生继发性损害。 7 危险化学品事故的应急处理： （一）危险化学品 5）溢出或泄漏处理： 泄漏源控制：关闭化学品导出阀门，阻止进一步泄漏。 泄漏物处置：泄漏源被控制后，要及时将现场泄漏物进行安全可靠的处置，防止二次事故的发生。 7 危险化学品事故的应急处理： 若处置不当，不仅不能有效扑灭火灾，反而会使灾情进一步扩大。 （一）危险化学品 6）火灾控制： 危险化学品的溢出或泄漏，容易产生火灾爆炸事故。 注意事项： 非专业人员和应急人员不得参加灭火； 灭火人员不应单独灭火； 事故现场出口应始终保持清洁和畅通； 选择正确的逃生路线； 要选择正确