SCU400员工培训解读.ppt

进炉前准备 (1)、真空泵检查 ①、每次开始生产前，派 1 个人前往泵房检查真空泵的水、电连接，确保无误。 ②、观察罗茨泵和真空泵的油位，确保油位在 Min 与 Max 之间，视窗油位在 1/3 至1/2的位置。 (2)、压缩空气、氩气 压缩空气压强要求大于 5bar，其压强变化不能在 60 秒内有 1bar 的变动。 氩气压强要求 4－6bar，顶底流量为 1000~1050mL/min。 (3)、冷却水 要求进水温度在 31±0.2℃，进水压强 5.0-6.0Bar。多晶炉各个部位的水流量要求如下： 炉盖≥40L/min；炉膛≥40L/min；冷却板≥90L/min；盲法兰≥10L/min； 水温表 顶部加热器≥15L/min；底部加热器≥15L/min。 冷却水出水压力在 1.0-2bar (4)、电控柜 ①、确认电控柜是否已合闸，包括电控柜内主闸及门上的开关，并将电控柜门锁上。 ②、确认变压器盖板及加热器套盒已盖好。 (5)、投炉前点检 检查《多晶炉铸锭点检表》各项，作投炉前点检工作。 多晶炉室清扫 顶底高温计玻璃片：用无尘纸吸取无水乙醇轻擦，直至玻璃片上无污点 炉盖上残留真空脂 ：无尘纸吸取无水乙醇擦 炉体密封圈 ：先用无尘纸吸取无水乙醇擦一次，涂上真空脂，用无尘纸吸取无水乙醇再擦一次 炉盖顶板的下板及炉膛上沿黄、白色氧化物 ：先用铲刀铲除再用吸尘器吸 支撑板上氧化物 ：吸尘器吸 炉膛底部侧板及其与支撑板的间隙处 ：吸尘器吸 备注： 清理过程应戴手套、口罩，进入炉膛须穿鞋套。 炉盖表面须在每天早上打扫卫生时用毛巾擦拭干净。 如发现异常情况，出炉后应立即清理或维修。 如成品率经以上清理后仍较差，须吊起炉膛对炉体内壁氧化物及热门周围碳毡板进行清理。 清理完须由班长或工艺师确认，并运行烘烤菜单。运行烘烤菜单时须将 Charge No 按相应规定修改。 注意不要将任何物品遗漏到炉体内 多晶炉操作 1、 作业准备 (1)、进入多晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。(2)、准备好梯形碳纤维板。 (3)、准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、无尘纸、酒精、吸尘管、防尘口罩等。(4)、准备好吊钩碳纤维板和吊装硅锭的专用工具（硅锭四爪夹具）。 投料过程 投料时，由一人控制行车（站在北侧），两人在炉子两侧（南侧和东侧）控制吊装夹具，东侧的一人并负责指挥，夹具的操纵杆应在东北侧，由指挥者操作。 硅料投炉过程中注意小心轻放，以防损坏顶部热电偶。 坩埚放置于炉膛中心，钼丝结方向应对着东北角，放置完成后，用吸尘管将坩埚四周清理干净。一切处理完成后，由两人同时将覆盖在坩埚上的无尘布拿掉，其他人用蘸有酒精的无尘纸将炉盖与炉体接触的两个面擦拭干净，然后均匀的涂上一层真空脂。 合上炉盖，在炉盖合上后稍微将炉盖抬起 1-2cm 再合上。 如需要更换热电偶，则注意安装热电偶时一定要保证安装到位。 自动控制生产过程 整个生产过程主要是自动控制，操作工注意生产过程中的报警及参数记录，再者就是修改参数，修改的参数主要是熔料和结晶过程中的参数。报警主要包括两种情况：一种是生产过程中每个阶段的转换提示报警，只要正常切换后按reset键即可，另一种为生产过程中出现的设备异常情况，出现该情况时需要报告班长或当班工艺师，班长核实问题，及时处理，不能处理的问题尽快上报上级处理。 (1)、抽空检漏 要求炉子漏气速率1mbarl/s，检漏时间 3 分钟。检漏合格循环充氩气一次,并对加热器检测五分钟，进入加热熔料工序。 若炉子漏气速率1mbarl/s，则可选择再次进行抽空检漏，若仍不合格则打开真空室泄气阀，使真空室达到常压，检查顶底高温计、热电偶安装接口，如无问题，打开炉盖重新清洁炉盖与炉体接触的两个面，合上炉盖重新检漏。检漏合格进入加热熔料工序。如再次不合格报告维修人员处理，并进行相应记录。 (2)、熔料过程中功率在上升，但在熔料后期，顶部加热器的功率出现明显下降，一般出现在菜单的第九部，此时根据曲线更改参数，更改的依据是出现顶部加热器功率下降开始到开始结晶的时间控制在 70 分钟（第九步延长 35 分钟）。在功率出现下降后，需查看顶部高温计是否对准，对准的标准是高温计镜头里的黑圈与视野中的黑斑重合。 (3)、结晶过程中的第九部也需要进行参数修正，在顶部高温计温度在结晶阶段是稳定的，但在后期会出现温度陡然下降，此时需要查看高温计，如果视野中黑斑已经偏向一边或者不在视野中，则表明硅锭已经冒顶，参数的修改依据是顶部高温计曲线出现下降后将第九部再维持 120 分钟。 (4)、正常条件下第九步的时间设定是 300 分钟，如果在这 300 分钟内观察不到冒顶，则需要将第九步的时间增加 60 分钟，并