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第4章电感式传感器 主要内容： 4.1变磁阻式电感传感器 4.2差动变压器式电感传感器 4.3电涡流式传感器 要点：了解掌握自感式、互感式、电涡流式传感器的工作原理、基本特征以及这些传感器 的测量电路、使用方法。 概述： 电感式传感器是一种机电转换装置，特别是在自动控制设备中广泛应用。传感器利用电磁感应定律将被测非电量（如位移、压力、流量、振动）转换为电感或互感的变化。按传感器结构可分为：自感式、互感式、电涡流式。 ?变磁阻式传感器（自感式） 4.1.1工作原理 传感器结构由线圈、铁芯、衔铁三部分组成。铁芯和衔铁之间有气隙，气隙厚度为，传感器运动部分与衔铁相连，衔铁移动时发生变化，引起磁路的磁阻Rm变化，使电芯线圈的电感值L变化。 根据磁路知识，线圈自感可按下式计算： 定义线圈中的电感量：图4-1变磁阻式传感器结构= 式中：N线圈匝数；Rm磁路总磁组；导磁率（真空、空气）；气隙的截面积；气隙厚。 公式的定义表示：当N为常数时，电感L仅仅是磁路中Rm的函数。只要改变气隙厚度或气隙截面积就可以改变电感L。因此变磁阻式又可分为:变气隙厚度（）—气隙型传感器、变气隙截面积（）—截面型传感器。 输出特性 从上面线圈的电感量定义式可见：L—之间是非线性关系，如图4-2所示。设电感初始气隙为，电感量为： 图4-2变磁阻式传感器输出特性结构 由图4-1可见，衔铁位移引起气隙的变化量为，衔铁↓，气隙减小 此时输出的电感为： 当1时，用泰勒级数展开后： 电感的相对增量为： （下移时） ? （上移时） ?对上式作线性处理（忽略高次项时，才与成比例关系）有： 定义灵敏度 ?讨论： 传感器测量范围与灵敏度和线性度相矛盾，↑，↓； 所以变间隙式电感传感器用于小位移比较精确。一般取=0.1~0.2mm。 为减小非线性误差，实际测量中多采用差动变间隙式传感器。 ?差动变间隙式结构原理： 差动变隙式由两个相同的线圈L1、L2和磁路组成。当被测量通过导杆衔铁左右位移时，两个磁回路中磁阻发生大小相等，方向相反的变化。一个电感量增加，另一个减小，形成差动形式。衔铁左移。、分别为：=+图4-3差动变隙式电感传感器结构=-L 电感的变化： 对上式线性处理忽略高次项： 灵敏度： ?讨论： 差动变隙式比较单线圈灵敏度提高一倍； 差动变隙式非线性等于单线圈非线性项多乘()因子，不存在偶次项，因1，所以线性度得到明显改善； 差动式的两个电感结构，可抵消温度、噪声干扰的影响 ? 4.1.3测量转换电路 电感式传感器的测量电路有：交流电桥、交流变压器、谐振式等。? 图4-3交流电桥结构示意图图4-4交流电桥等效电路 ?（1）交流电桥式： 现有两个桥臂由线圈组成、，另外两个为电阻（前面以叙述过两个电抗的计算方法），输出电压为： ? 代入 讨论： 电桥输出与气隙变量有关，成正比关系：∝； 桥路输出灵敏度与电桥电压有关，↑，增加； 桥路输出与初始气隙有关，↑，↓。 ?（2）变压器式交流电桥 电桥的两臂是传感器线圈阻抗臂、（半桥）,另外两个臂是交流变压器次级线圈各占1∕2，交流供电。当负载无穷大时，桥路输出电压为： 当衔铁出于中间位置时： ； 当衔铁偏移时：； 输出电压为：? 当衔铁偏向另一方向时 讨论： 衔铁上下移动相同距离时，输出电压大小相等，方向相反，相差。要判断衔铁方向，就是判断信号相位，可用相敏检波器解决。 该电路特点是输出阻抗较小， ?（3）谐振式（调幅、调频、调相） 调幅电路传感器L与电容C变压器初级串联。当有交流电压输入时，变压器次级有输出幅度随电感L变化。为谐振点的电感值。 调频电路的电感L与电容C并联组成振荡回路。 谐振频率，当L变化时 由由f—L特性曲线看出f—L有严重的非线性，只用于动态范围较小的情况。调频电路只有在f较大情况下才能达到较高的精度。 ? 图4-8 振式调频电路 ?4.1.4变磁阻式传感器的应用 压力传感器 图为1943年Welter叙述的第一个导管端血压传感器结构。C形弹簧管（波登管）作为一次换能元件将位移转换为电压。测量电路原用变压器交流电桥。 当被测压力P变化时，弹簧管的自由端产生位移，带动自由端刚性连接的衔铁位移变化，差动线圈阻抗一个增加一个减少，电桥输出电压大小、方向与P压力状态有关。被测压力经位移——电压两次转换输出。 液位测量沉筒式液位计： 液位变化时，沉筒受到浮力作用变化，并带动差动变压器的铁芯位移变化，差动变压器输出电压也随互感发生变化，这种变化反应液面的变化。 ?测量工具（机械） 传统的测量工具是游标长尺和千分尺，游标长尺分辨 率为0.02mm，千分尺0.01mm。现代机械加工要求测量工具的分辨率可达0.01，远远优于要求公差。这种新型量具的设计思想是将传统测量方法与传感器相结合。主体结构