光伏新能源凈化工程洁净车间技术解决方案.docVIP

1、光伏新能源硅晶片简介 ? ? 光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像镜子一样光亮的圆片，是生产半导体集成电路芯片的原材料。目前微电子产业飞速发展，集成电路技术已迈入0.18微米以下的时代，极大地刺激了光伏新能源硅晶片的发展，同时对光伏新能源硅晶片的性能参数的要求也有较大的提高，因此光伏新能源硅晶片的发展前景十分乐观。 ? ? ? ? ? 1.1 光伏新能源硅晶片的生产工艺流程 ? ? 从大的方面来讲，光伏新能源硅晶片生产包括硅单晶棒生产和光伏新能源硅晶片生产两大部分，细分为以下几道主要工序： 单晶棒生长-单晶棒裁切和检测-外径磨削-切片-倒角（圆边）-研磨/研磨片检查-蚀刻（化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺）-PTA热处理-背面损伤处理-抛光（ML粗抛、ML精抛）-洗净-品质检查-洁净包装 从单晶棒生长到外径磨削为硅单晶棒生产工序，切片以后的流程为光伏新能源硅晶片生产工序。下面以某日资硅片厂为例，介绍光伏新能源硅晶片生产工序的空调净化系统和自控系统的设计方案。 ? 1.2 各生产工序环境控制要求 ? ? 某硅片厂生产4~6英寸光伏新能源硅晶片，产量为480万片/年。此公司光伏新能源硅晶片应用于分立器件、功率元件和特种集成电路的制作。 ? 2、空调净化系统 ? ? 空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各