溅射沉积系统、等离子增强化学气相沉积系统、单室电阻热.docVIP

天津大学磁控溅射沉积系统、等离子增强化学气相沉积系统、单室电阻热蒸发沉积系统、超高真空测试腔体系统项目采购 招 标 文 件 （招标编号：TD2009-N-6） 招标单位: 天津大学设备处 日 期：二 0 0 九 年 九 月 目 录 第一部分：投标邀请 3 一、项目名称：天津大学磁控溅射沉积系统、等离子增强化学气相沉积系统、单室电阻热蒸发沉积系统、超高真空测试腔体系统项目采购 3 二、招标编号：TD2009-N-6 3 *三、合格的投标人 3 四、投标报名及购买招标文件 3 五、投标文件的递交 4 六、开标 4 第二部分：投标人须知 5 一、总 则 5 二、招标文件说明 6 三、投标文件的编写 7 四、投标文件的递交 10 五、开标 11 六、评标 13 七、合同的授予 16 八、询问和质疑 18 第三部分：评标标准和评标方法 19 第四部分：招标产品清单和技术要求 21 第五部分：采购合同 28 第六部分：投标文件格式 33 投标人提交文件须知 33 附件一：封面 33 *附件二：投 标 函 34 *附件三：法定代表人证明书 36 附件四：法定代表人的授权委托书（如由授权代表参与投标时必须提供，否则投标无效） 40 *附件五：投标人资格声明 41 *附件六：投标人有效营业执照副本复印件（加盖投标人公章） 附