制绒清洗工艺文件.docVIP

江西天能电力股份有限公司 文件名称：156多晶硅片绒面制备工艺 文件编号： 版本：TNSC-01: 编制部门：技术部 生效日期： 页数： 1.标题 156mm*156mm多晶硅片绒面制备和清洗甩干工艺。 2.目的 2.1清洗硅片表面油污损伤层氧化层去除。在硅片表面制备一个反射率的织构表面。无锡市瑞能科技有限公司03型清洗甩干机。 多晶硅绒面制备所有操作人员都必须严格按照文件进行操作； 在操作过程中遇到问题应及时向相关反应，相关及时提供帮助。 、、→PLC电源→各分电源 6.2.2准备工作 6.2.2.1确认确认各槽清洗状态正常，各槽内《作业指导书》。确认各槽控制系统工作正常，程序准确，设定准确。。→PLC电源→总电源→氮气、、 1 制绒补液： 1-1 消耗性补液： 1-1-1 补液配方： 硝酸:氢氟酸＝1:2.35（体积比），即10升硝酸加23.5升氢氟酸 1-1-2 制绒补液时间和量： 每做300片156硅片后补液一次，1.61L；或者加入硝酸0.48L和氢氟酸1.13L。 液面高度不足补液： 液面不足时添加原始制绒液，即硝酸:氢氟酸: 水＝5:1:3.4（体积比） 1-3 槽液寿命：1万片（暂定） 2 KOH补液： 配方：45%KOH 补液时间和量：每做2000片补液一次，每次加入0.2升45%KOH。 槽液寿命：1万片（暂定） 3 HCl补液： 配方：37%盐酸 补液时间和量：每做2000片补液一次，每次加入1升37%盐酸。 槽液寿命：1万片（暂定） 后清洗补液 配方：49%氢氟酸 槽液寿命：1万片（暂定） 6.2.5注意事项 1操作时，必须按酸、碱清洗要求穿戴好相关的个人防护用品。检查各槽内的实际温度温度要，否则汇报工序负责人解决。每一批抽一片观察绒面，发现异常情况及时解决，操作时必须安全使用化学试剂及安全使用清洗机。更换保证槽内无碎片、无污（将槽放满水后冲洗到次）。打开电源开关、及各控制开关；打开压缩空气、氮气、纯水总阀门和分阀门《作业指导书》 电源开关、及各控制开关压缩空气、氮气、纯水总阀门和分阀门当出现故障时，应立刻按下“急停”按钮，在故障清除后，向右旋转“急停按钮，再重新启动。在盖未 用途 时间 (sec) 溶液 温度 （℃） 目 的 1 制绒 110～130 制绒液 7～11 去除损伤层，制备绒面 2 漂洗/ 喷淋 200±20 去离子水 常温 去除腐蚀液 3 KOH碱洗 2.4%KOH 常温 去除多孔硅 漂洗 常温 去除碱液 5 HCl酸洗 5～10%HCl 180 去离子水 常温 去除酸液 7 漂洗 180 去离子水 常温 去除酸液 8 喷淋 80 去离子水 常温 去除酸液 溶液配制表 溶液名称 溶液组分 67%HNO3 49 %HF 45 %KOH 35-38%HCl 去离子水 制绒液 5份 （体积） 1份 （体积） —— —— 3.4份 （体积） KOH碱洗液 —— —— 2.4%KOH 百分浓度 —— 余量 HCl酸洗液 —— —— —— 5～10% 百分浓度 余量 9.卫生要求 9.1制绒车间要保持清洁，不要把酸、碱滴到地面上。 9.2盛过酸碱液的塑料桶、杯要及时刷洗，不可无标识长时间用桶盛酸碱液。 9.3每班下班前要对制绒机进行卫生打扫，冲掉设备上面的酸碱，清理槽体，无碎片、杂物。 9.4每月应安排打扫设备和槽，彻底清扫，具体清洗项目见《清洗机定期清洗项目及规范》 10.工装夹具 设 备、仪 器 工 具、夹 具 名 称 规 格 或 代 号 名 称 规 格 或 代 号 8槽清洗机 搬运车 甩干机 特特制 125×125 M891001 500mL，2L，5L M570006 M570013 M570001 M570003 M570029 M880017C 材 料 名 称 规 格 动 力 多晶硅片 125×125mm、156×156mm HNO3 65 -68 % 分析纯 HF 49 % 分析纯 KOH 45% 分析纯 HCl 37% 分析纯 去离子水≥13MΩ=13OOOKΩ=1.3×在此处键入公式。Ω 13MΩ=13OOOKΩ=1.3×Ω 电源： 220V-50Hz 温度：25±3℃ 纯水(去离子水) 氮气 压缩空气0.5-0.7MPa 工艺卫生等级 预 防 措 施 清洁 穿戴工作服、帽、口罩、手套 防尘手套 塑胶围裙 一次性手套 长塑胶手套 附表1超声清洗工艺条件 槽号 1槽 2槽 3槽 时间（分） 3 3 3 温度（度） 85 65 常温 附表３