表面分析技术：第五章 X射线光谱分析02.ppt

第二篇 成分和价键结构分析 第五章 X射线光谱分析 成分和价键分析概论 X射线的产生 X射线与物质的相互作用 X射线光谱分析 5.1 成分和价键分析概论 基本原理：核外电子的能级分布反应了原子的特征信息。利用不同的入射波激发核外电子，使之发生层间跃迁，在此过程中产生元素的特征信息。 根据出射信号的不同，成分分析手段分为两类：X光谱和电子能谱，出射信号分别是X射线和电子。 X光谱包括X射线荧光光谱（XFS）和电子探针X射线显微分析（EPMA） 电子能谱包括X射线光电子能谱仪（XPS ）、俄歇电子能谱仪（AES）、电子能量损失谱（EELS）等。 各种分析手段的特点 X光谱(所探测的样品出射信号是X射线)： 表面＋内部信息 空间分辨率不高 无法探测元素的化学环境 电子能谱(所探测的样品出射信号是电子)： 表面元素分析 表面元素价态分析 基本原理 入射电磁波或物质波与样品原子作用，导致原子的总能量升高处于激发状态。 激发态不稳定，原子较外层电子将跃迁入内层填补空位，使总能量降低趋于稳定。 跃迁的始态和终态的能量差?E为原子的特征能量，由元素种类决定，并受原子所处环境的影响。 可以根据一系列的?E确定样品中的原子种类和价键结构。 样品发射的俄歇电子、光电子动能或X射线波长就由?E决定。 5.2 X射线的产生 X射线的本质 X射线是一种波长很短的电磁波，在电磁波谱上位于紫外线和γ射线