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6. 溅射离子泵 阳极为多个不锈钢圆筒或四方格、六方格组成,阴、阳极之间加有高压，在阳极小室里产生放电。 特点：极限真空10-10Pa，对油污染敏感 7. 冷凝泵 §1-4 真空的测量 几种真空计的工作原理与测量范围 U形管压力计 利用大气压与真空压差 测量范围（Pa） 105－102 电阻真空计、热偶真空计 利用气体分子热传导 测量范围（Pa） 104－10-2 热阴极电离真空计 、B-A型真空计 利用气体电离与压强的关系 测量范围（Pa） 10-1－10-6、10-1－10-10 潘宁磁控电离计 利用磁场中电离与压强的关系 测量范围（Pa） 1－10-5 气体放电管 利用气体放电与压强的关系 测量范围（Pa） 103－1 1. Bourdon Gauge 2. Heat Transfer Gauges Thermocouple gauge and Pirani Gauge 热偶真空计 在低气压下，气体传导的热量与压强成正比，对一热丝进行加热，在平衡时其温度应恒定，用热电偶测量热线温度的变化，即可知压强的变化，若测量热丝电阻值的变化，即为热阻真空计。 Q=Q1辐射+Q2传导+Q3气体分子带走热量 热导规对不同气体的灵敏度 3. Capacitance Manometer 4. 电离真空计 类似于一真空三极管，灯丝发射电子使气体电离，气体分子电离的多少与气体分子密度成正比，即与压强成正比，收集极收集离子数的多少，即可知压强P的大小。 注意：不可在高气压下使用，此时离子电流过大，将烧毁真空计。 电离规对不同气体的相对灵敏度 气体 对N2相对灵敏度Sr 气体 对N2相对灵敏度Sr H2 0.46 He 0.17 Ne 0.25 Ar 1.31 Kr 1.98 Xe 2.71 N2 1.0 O2 0.95 CO 1.11 CO2 1.53 干燥空气 1.0 H2O 0.9 Hg 3.4 扩散泵油气 9-13 HCl 0.38 CH4 l.26 CCl4 0.70 5. 温度对压力测试准确性的影响 两连通容器的压力： 1. 低真空：粘滞流情况，平衡条件是压力相等 P1=P2， 2. 高真空：分子层流情况，平衡条件是流导相等 例：真空室温度600℃ ，规管温度25℃ ， 测量压力只有真实压力的58％。 §1-5 真空部件 Bellows—波纹管 §1-8 真空系统 §1-9 基片的性质 玻璃 陶瓷 单晶 金属 塑料 机械性能 热学性能 化学性能 电学性能 声学性能 磁学性能 光学性能 晶体结构 真空术语Vacuum Glossary Leak－泄漏 Virtual Leak－虚漏 Permeation－渗入 Outgasing－放气 Throughput－抽气量 Conductance－流导 Pumping Speed－抽速 Turbo Pump－涡轮分子泵 Diffusion Pump－扩散泵 Roughing Pump－低真空泵 Vapor Pressure－蒸汽压 Condensation－凝结 Partial Pressure－分压 Average Velocity－平均速度 Mean Free Path－平均自由程 Diffusivity－扩散率 Vacuum Gage－真空计 第一章 真空技术基础 本章主要内容： 稀薄气体的基本性质 真空的获得 真空的测量 真空的基本知识 真空配件、检测 定义 真空：低于一个大气压的气体状态。 “相对真空”，“绝对真空”? 特点：压强(Pressure)低，分子稀薄， 分子的平均自由程长。 电学特性 输运特性 真空的性质可由压强、单位体积分子个数、 气体的密度等表示 用“真空度”及“压强”两个参量来衡量真空的程度。 帕斯卡（pascal）=1牛/米2，国际单位制 托（Torr）=133.322Pa=1/760atm单位，描述真空的独特单位 此外，m