北京化工大学电子显微技术-学生课件要点.ppt

电子显微技术 杨俊佼 北京化工大学分析测试中心 第一节 透射电子显微镜 Transmission Electron Microscope (TEM) 第二节 扫描电子显微镜  Scanning Electron Microscope (SEM) Comparison of electron sources 电子束流稳定性 Electron Beam Irradiation and Magnification of SEM 电磁波谱：电磁辐射按波长顺序排列 1 10 峰背比（WDS/EDS） 高 低 X射线收集效率 低 高 定量分析准确度 10-1 (%) 10-2 (%) 检测极限 低（130 eV） 高（≈5eV） 分辨率 快 慢 定量分析速度 4Be－92U 4Be－92U 元素分析范围 EDS WDS 比较内容 能谱和波谱主要性能的比较 三、电子与固体试样的交互作用 　　一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息，有：二次电子、背散射电子、阴极发光、特征X 射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子、透射电子等。 样　　品 入射电子 Auger电子 阴极发光 背散射电子