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结构原理 特点 发展前景 PART FOUR 涡轮分子泵 背景 1.背景 分子泵自1912年诞生以来,至今已快近一个世纪了。它在初期进展较缓慢,在1970年以前，分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等领域。但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展,分子泵才被人们所重视,并得到了兴旺和发达,现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段。 涡轮分子泵是一种高速旋转的精密动量传输式真空泵,是获得高真空(HV)和超高真空(UHV)的关键设备之一， 近年来关于涡轮分子泵的研究变得十分热门。 2.结构原理 （1）结构 涡轮分子泵是由泵壳、涡轮叶列组件和电动机(包括电源)组成的。涡轮叶列组件是由多级的动片和定片相间排列组成的。根据叶片不同的几何形状,又把叶列分成高、中、低真空三个区段。通常叶列的第一级和最末级都是动片,两动片之间均为定片，结构如图2.2所示。 （2）原理 涡轮分子泵( turbo-molecular pump，TMP，以下简称分子泵) 依靠高速运动的涡轮表面“拖动”气体分子作定向运动，实现气体抽出，获得清洁高真空和超高真空。 2.结构原理 气体输送能力强。大多数涡轮分子泵对于输送轻气体 （如氢、氦）的能力很强 在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀，使用方便 3、特点 清洁，无油蒸汽返流 循环的时间短 高压力下性能良好 适于超