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真空系统真空泵摘要

真 空 系 统 研1519 尹秉政 2150820027 1.1 什么是真空系统? 用一句话来概括,真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。 1.真空系统 1.2 真空系统的组成元件 一个较完善的真空系统由下列元件组成: 1.抽气设备:例如各种真空泵; 2.真空阀门; 3.连接管道; 4. 真空测量装置:例如真空压力表、各种规管; 5.其它元件:例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。 一个要进行真空处理的容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,同时在容器上设置真空测量装置,这就构成了一个最简单的真空抽气系统(如图1)。 真空系统示意图 1.3 真空系统的典型形式 静态真空系统:系统中没有气体流动,系统内各部分的压强相等,而且长时间不变化。凡是真空室或管道内没有放气或漏气的系统均属静态真空系统。实际上,绝对的没有放气和漏气的情况是不存在的。但是在漏气和放气流量都非常小的情况下,系统中几乎没有气流就可以认为是静态真空系统。 动态真空系统:系统中有气体流动,系统中各处压强不等,系统的各 截面有压强降落。凡是真空室或

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