第11章_外差检测系统摘要.pptVIP

由于动镜在导轨上沿光轴移动的过程中，存在各种偶然因互的干扰（例如外界振动、导轨的平直度误差以及机械传动系统的不稳定等），使动镜产生偶然的反向运动，这种偶然的反向运动使计数器所显示的脉冲数为正反向移动的总数，而不是真正的被测长度，因此必然存在测长误差。为了解决这一问题，经光电转换并放大整形后，信号进入一方向判别电路，该电路把计数脉冲分成加、减二种脉冲，工作台正向移动时引起的脉冲为加脉冲、反向移动时引起的脉冲为减脉冲、把这两种脉冲分开后送入可逆计数器计数。 干涉信号的方向判别与计数原理 方向判别电路的原理。先在干涉系统中应用移相方法（详见后述）将干涉条纹分为两组且彼此位相偏移π/2，分别经光电转换后，输出的两组光电信号也彼此有π/2的位移偏移，这两组光电信号分别经放大、整形、倒相，变成四个位相依次差π/2的矩形脉冲，再经斯密特电路把波形变换成尖脉冲。 当工作台正向移动时，脉冲的排列为1、3、2、4 、1 ；反向移动时，脉冲排列次序为1 、 4、2、3、 1，如图所示。在逻辑电路上可根据脉冲1的后面是1或4来判别正向加脉冲或反向减脉冲，并分别逆入加脉冲的“门”或减脉冲的“门”中去，从而可得到总的加脉冲或减脉冲信号。 辩向电路原理 判向电路除提高了仪器的抗干扰能力外，还把一个周期的干涉条纹变化（即亮暗变化一次）变成四个脉冲输出信号。因此在测