材料分析测试方法第十一节 透射电子显微镜幻灯片.ppt

* 物镜光阑：也叫衬度光阑。 作用：减小像差（球差、像散和色差）；提高图像衬度；进行暗场及衍衬成像操作。 光阑孔直径：20～120?m 一般安放在物镜的后焦面上。 选择不同的电子透射束、散射束或衍射束进行成像。 改善和调节图像的最终衬度。 一、透射电子显微镜的结构 * 透射电子显微镜 物理学院 邢晓东 xingxd@课件保存于：cailiaofenxi2013@163.com 密码：xingxiaodong * 透射电子显微镜 一、透射电子显微镜的结构 二、透射电子显微镜的工作原理 * 一、透射电子显微镜的结构 透射电镜的组成部分： （1）电子光学系统 电镜的核心部分，为直立积木式结构（镜筒），上面是照明系统，中间是成像放大系统，下面是观察与记录系统； （2）真空系统 为镜筒提供10-4 ～10-6 Torr的真空度 （3）电源系统 （4）循环冷却系统 （5）控制系统 * 一、透射电子显微镜的结构 照明系统 成像放大系统 观察记录系统 透射电镜电子光学系统的基本结构、原理与光学显微镜很相似，均包括三个部分： * 一、透射电子显微镜的结构 透射电镜电子光学系统 图 透射电子显微镜的剖面图 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 组成部分：电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置 作用：提供一束亮度高、相干性好（能量稳定、平行度好）、照明孔径角小和束流稳定的照明源。 通过聚光镜的控制可以实现从平行照明到大会聚角的照明条件。为满足中心暗场成像的需要，照明电子束可在2?~3?范围内倾斜。 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 A、电子枪 类型：热电子发射型、场发射型 热电子发射型的热阴极三极电子枪： 阴极：灯丝（钨、LaB6） 阳极：中央带小孔的金属板， 接地（给电子加速） 栅极：控制极，使电子束强烈 会聚（成实际电子源） 图 电子枪结构示意图 1：阴极； 2：栅极； 3：阳极；4：电子束交叉点 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 电镜中唯一的静电透镜，等电位面在空间呈弯曲状；电子枪交叉点即所谓的电子源，交叉点处电子束直径约几十微米。 （a）自偏压回路 （b）电子枪结构图 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 阴极材料： 六硼化镧（LaB6） 为了提高照明亮度，随后发明了电子逸出功小的材料作阴极。它比钨丝阴极的亮度高1～2数量级，而且使用寿命增长。 图 LaB6电子枪的结构原理图 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 场发射电子枪 （FEG：field emission gun）目前亮度最高的电子枪。 在金属表面加一个强电场，金属表面的势垒就变小，由于隧穿效应，金属内部的电子穿过势垒从金属表面发射出来，这种现象称为场发射。 图 场致发射电子枪结构原理图 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 表 各种电子枪特性比较 类型 钨丝 LaB6 热场发射 冷场发射 亮度(200kV)/(A·cm-2·sr-1) 5×105 5×106 5×108 5×108 光源直径/μm 20~50 1~10 0.01~0.1 0.01~0.1 阴极温度/K 2800 1800 1600~1800 300 工作真空/Pa 10－3 10－5 10－7 10－8 寿命/h 60~200 1000 1000～2000 2000 能量发散度/eV 2.3 1.5 0.6~0.8 0.3~0.5 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 B、聚光镜系统（Condenser Lens) 聚光镜用来会聚电子枪发出的电子束，以最小的损失照明样品（即将电子枪第一交叉点的电子束聚集到试样上），并调节控制该处的照明强度、孔径角和束斑尺寸。 照明系统光路图 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 照明系统光路图 双聚光镜系统： 第一聚光镜：短焦距的强激磁透镜 束斑缩小率约为1/10~1/50，将电子枪第一交叉点束斑（直径50 μm ）缩小为1~5μm； 第二聚光镜：长焦距的弱激磁透镜 适焦时放大倍数为1~2倍； 样品表面上的电子照明束斑直径为2~10μm； * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 双聚光镜系统优点： 聚光镜和物镜之间有足够的空间放置样品和其他装置； 方便调节束斑尺寸，满足满屏要求和亮度要求，电子束的平行性和相干性都较好； * C、聚光镜光阑 一般称之为：第二聚光镜光阑，安装在第二聚光镜下方的焦平面位置； 作用：限制照明孔径角，可以挡掉高角度散射即远离光轴的电子，提高电子束的平行性和空间相干性，控制照射到样品上的